Lufttank
Oct 12, 2023| Lufttank
Den lille diffusionspumpe højvakuumpumpegruppe er normalt konfigureret med en gastank, som er arrangeret mellem diffusionspumpen og den forreste pumpe for at opbevare gassen, der udledes af diffusionspumpen. Årsagerne til at indstille benzintanken er:
1) Behovet for stødbeskyttelse af systemet
Når vakuumsystemet fungerer, kræver nogle processer streng stødmodstand, så den tidligere mekaniske vakuumpumpe skal stoppe med at arbejde i en periode, når vakuumkammeret er i funktionsdygtig stand. I løbet af denne tid opbevares gassen, der udledes af diffusionspumpen, i gastanken, og gastanken bruges til at erstatte den mekaniske pumpe for at opretholde den normale drift af diffusionspumpen.
2) For at forkorte arbejdscyklussen
Nogle produktionsprocesser kræver, at vakuumkammeret sættes i atmosfæren i bytte for komponenter og opladning uden at lukke diffusionspumpevarmeren. Vakuumenhedens forreste pumpe bruges som forpumpepumpe. Efter læsning forpumpes vakuumkammeret med en mekanisk pumpe, og gastanken bruges i denne tid til at vedligeholde diffusionspumpen (som den forreste pumpe).
3) For at forhindre, at en stor mængde øjeblikkelig gasudledning i vakuumkammeret påvirker den normale drift af diffusionspumpen
I vakuumprocesproduktionen er udstødningsvolumen særligt stor i en vis periode, men tiden er kort. Hvis det ikke er økonomisk at konfigurere den mekaniske pumpe i henhold til det maksimale udstødningsvolumen på dette tidspunkt, kan forstadietanken konfigureres i systemet på dette tidspunkt til at lagre en del af gassen ved det maksimale udstødningsvolumen for at undgå diffusionspumpens fortrinstryk overstiger det maksimale reverstryk.
4) Bruges til at stabilisere diffusionspumpens udløbstryk
Da udstødningen fra den mekaniske vakuumpumpe er pulseret, selvom frekvensen ikke er høj (generelt ca. 7 gange/s), vil det også forårsage udsving i diffusionspumpens udløbstryk, og indstillingen af gastanken kan reducere sådanne. udsving.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com