Udformning af vakuumkammer til vakuumbelægningsudstyr

Udformning af vakuumkammer til vakuumbelægningsudstyr

IKS PVD, højkvalitets vakuumbelægningsudstyr, iks.pvd@foxmai.com

Vakuumbelægningsteknologi er at anvende fysiske eller kemiske metoder i vakuumtilstanden, således at objektoverfladen for at opnå den krævede filmkrop, vakuumbelægningsteknologi i overensstemmelse med de forskellige metoder opdelt i fordampningsplettering, forstøvning plating, ionplating, stråleafsætning og molekylær stråleepitakse osv. Denne analyse af belægningsudstyret er magnetron sputtering belægning.

Vakuum kammer er en væsentlig del af vakuum udstyr, vakuum belægning udstyr vakuum kammer design betragtes primært forsegling og pålidelighed, strukturen skal være rimelig, vakuum udstyr materialeproduktion udføres i vakuumkammeret, materialet har en lille indvirkning på vakuum grad, kan designet ikke være uforsigtigt, at være opmærksom på nogle problemer.

Brug af vakuum magnetron sputtering belægning udstyr generelt vedtager strukturen af cylinder krop, strukturen for at sikre den hurtige tid, på grund af luft lommen vil langsomt deflateret, og dermed undgå isolation hulrum, vil top vakuumsystemet tilføje magnetron sputtering pistol, for at gøre vakuumkammer og komponenter har tilstrækkelig styrke, sørg for, at tykkelsen behøver tilstrækkeligt under ekstern og indvendig påvirkning.

Svejsning er en nøgleproces i fremstillingen af vakuumkammer for at sikre, at vakuumkammeret efter svejsning ikke frembringer lækagefænomen, det er nødvendigt at designe en rimelig svejsestruktur, forbedre svejsekvaliteten i det ultrahøje vakuum af indre væg ruhed til polering udendørs indendørs overflade er meget lyst og rent, er det nødvendigt at være særlig opmærksom på behovet for at gøre et godt job for at forhindre rust foranstaltninger.