Eksperimentelle materialer og metoder til effekten af Arc Source Source Current på Tin Film Structure
Jun 22, 2018| I dette papir blev TiN tynde film aflejret på rustfrit stål substrat og Si wafer med multi-arc ion coating machine. Effekten af bue-kildestrømmen på strukturen og tribologiske egenskaber af TiN-tynde film blev undersøgt ud fra princippet om multi-arc ionplating.
Eksperimentelle materialer og metoder
Underlagsmaterialet er rustfrit stål (1Cr18Ni9Ti) på 20 mm × 20 mm × 2 mm, med Si wafers. Fremstillingen af filmen blev udført på en multi-arc ionbelægningsmaskine. Prøven blev mekanisk poleret, alkali-vasket, ultralydrenset i alkohol og endelig tørret til et rent belægningskammer. Før coating processen blev substratet renset ved Ar + ætsning i 5 minutter. Flowhastigheden af argongas under coating var nul, og den faste strømningshastighed af N2 var 0,22 SLM / s. De specifikke procesparametre er angivet i tabel 1.
Table.1 TiN film deposition process parameters
| Arc Source Current (A) | Tryk (x10 -1 Pa) | Temperatur af Sudstrate (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4,5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1,0 | 402 |
Overflademorfologi og frakturoverflademorfologi af filmen blev observeret ved feltemissionsscanningelektronmikroskopi (FE-SEM). Hardheden af TiN-filmen blev målt med en mikrohardness tester med belastningen 25 g og ladetiden er 10 s. Friktionskoefficienten af filmen blev målt ved selvændret laboratorieindretning. TiN-filmprøven kombineres med A3-stålet til dannelse af et par friktionspar. Under prøven er den øvre prøve fastgjort, A3-ståldisken roterer i tør friktion, rotationshastigheden er 0,87rev / min, og den eksperimentelle belastning er 1N.