Højt vakuum system
Oct 25, 2023| Højt vakuum system
Højvakuumsystemet er meget udbredt, og dets arbejdstrykområde er generelt 1,33×10-2 ~ 1,33×10-3Pa. Almindelige pumpesystemer er:
(1) Diffusionspumpeseriens mekaniske pumpevakuumsystem. Som vist i figur 5-2 kan dette system opnå et vakuum på 10-2 ~ 10-5Pa, som generelt bruges i påføringsudstyr med relativt lille udstødningsgas under drift. Systemet har fordelene ved en enkel struktur, pålidelig drift og lave omkostninger. Ulempen er, at systemet starter langsomt og fortrækketiden er lang. Diffusionspumpens oliedamp er let at tilbagestrømme ind i vakuumkammeret.
(2) diffusionspumpe serie olie booster pumpe, og derefter serie mekanisk pumpe vakuum system. Systemet har en kort pre-draw tid, men en langsom start.
(3) diffusion pumpe serie Roots pumpe, og derefter serie mekanisk pumpe vakuum system. Den er langsom at starte, men forpumpningstiden er kort.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com