Introduktion af Bias

Forspændingsspændingen refererer til den negative spænding, der påføres substratet under belægningsprocessen. Den positive terminal for bias strømforsyningen er forbundet til vakuumkammeret, mens vakuumkammeret er jordet. Den negative klemme af biaspændingen er forbundet med emnet. Fordi jordens spænding generelt betragtes som nulpotentiale, betegnes spændingen på emnet, som negativ forspænding, betegnet bias.

1. Funktion af den negative forspænding

◆ give partikelenergi

◆ Opvarmningseffekt på substratet;

◆ Fjernelse af gassen og fedtet snavs adsorberet på substratet er gavnligt for at forbedre filmstyrken af filmen;

◆ Aktiver substratoverfladen;

◆ For de store partikler i bue ionplating har rensningseffekt.

2. Klassificering af forspænding

(1) Ifølge bølgeformen kan opdeles i:

DC forspænding   DC-pulseret forspænding

DC overlejret puls bias Bipolar puls bias

(2) I henhold til behovet for at skifte højspænding og lav spænding, når strømmen anvendes, kan den opdeles i:

Effektudgangsdiagram for omskiftning af højspænding og lav spænding

Det er ikke nødvendigt at skifte høj og lav spænding trinløs kontinuerlig regulering output

Justerbare parametre for bias strømforsyning: bias amplitude, duty ratio, frekvens og bølgeform.

3. Karakteristisk for bias strømforsyning

◆ Antallet af bueskydning pr. Minut.

◆ Påvisning af følsomheden hos store buer (mJ / kW detekterbar lysbue).

4. Indlæs karakteristisk for bias

Arbejdsbelastningen af bias er plasma, og plasmaet udviser resistiv når DC-bias anvendes. For en anden, når pulserende forspænding påføres, udviser plasmaet resistiv + kapacitiv, hvilket kan betragtes som en serieforbindelse af modstande og kondensatorer. Kernen i kapacitans er forårsaget af plasmakappe på substratet.