Ydeevne og fordelene ved en Turbine molekylære pumpe
Jan 16, 2018| Turbo molekylære pumpe er brugen af high-speed rotation af bevægelige løbehjulet at passere momentum til gas molekyler, gas genereret retningsbestemt flow af denvakuumpumpe. Turbo molekylære pumpe primært komponenter af pumpehuset, rotor med blade (dvs. bevægelige løbehjulet), statisk løbehjulet og drevsystem.
Fordel
Som turbo molekylære pumpe i nogle aspekter, det er bedre end den kryogene pumpe, ion pumpe og diffusion pumpen ydeevne er overlegen. Derfor, i det generelle tilfælde, mere brug af turbo pumper.
(1) ren, olie-fri damp refluks
Turbo molekylære pumpe kan fungere uden nogen godt og fungerer efter operation regler, som kan give en ren vakuum miljø for objektbeholderen pumpede og indeholder ikke nogen kulbrinter.
(2) bekvemt at bruge
I mange applikationer, kan turbo pumper ikke kræve høje vakuum ventiler eller ru vakuum ventiler. Bare tryk på knappen, pumpen kan begynde at arbejde, fra det atmosfæriske tryk kan reduceres til den ultimative pres. Systemet kan være grove pumpes af turbo molekylære pumper og kan fremskyndes op til opererer hastighed. Dette eliminerer behovet for ventiler, rør, fælder, ventil kontrol og andre vakuum komponenter. Det eliminerer også manglende af disse komponenter.
(3) stærk transportkapaciteten
De fleste turbo molekylære pumper har en stærk evne til at levere lys gasser såsom hydrogen og helium, hvilket gør dem ideelle for proces operationer under ultra-højt vacuum. En turbo molekylære pumpe specielt udviklet til fjernelse af ætsende gasser er velegnet til ætsning, reaktiv ion ætsning, ion beam bearbejdning, lavtryk kemisk dampudfældning, epitaxy og ion implantation processer. Under processer, kan den evakueret gas korroderer kryogene pumper, ion pumper, diffusion pumpe olie, og endda ødelægge standard ubeskyttet turbo molekylære pumper. Som turbo molekylære pumpe tilhører transmission pumpe, vil pumpes gassen ikke blive akkumuleret i pumpen, så det er egnet til processen med høj gas belastning.
(4) egnet til Ultra høj Vacuum applikationer
En god turbo molekylære pumpe til forsegling og afgasning er udstyret med to trins roterende pumpe med gode resultater (eller den samme ydeevne tørre før pumpen). Den ultimative vakuum kan nå 10-9til 10-10Torr (133.3 til 13,33 nPa). Hvis en turbo molekylære pumpe er tilsluttet en anden turbo molekylære pumpe ved hjælp af en metal-forseglede og godt afgassede pumpe, er sine ultimative pres typisk 1 × 10-10til 1 × 10-11Torr (13,33 at 1,333 nPa) mellem. Og i modsætning til kryogene pumper eller ion pumper, turbo molekylære pumper operere på fuld pumpe hastighed under ultra-højt vacuum betingelser.
(5) god ydeevne under højt tryk
Indgangstryk på nogle turbo molekylære pumper kan køre mellem 10-1og 10-3Torr (13,33 Pa 133,3 MPA). I denne trykområde ion pumpen kan ikke bruges til kryogene pumpe skal drosle pumpning hastighed eller regelmæssig regenerering, og arbejdet i diffusionspumpe bliver ustabil.
(6) kort cyklustid
De fleste af turbo molekylære pumper, især mindre én, normalt behøver 1 ~ 3 min. at nå den normale hastighed. Pumper til forskellige typer og modeller er forskellige og kan lukkes umiddelbart og kan blive udsat for atmosfæren.
(7) normal brug for lang tid
I nogle programmer er normal brug tid af turbo molekylære pumpe overlegen i forhold til andre pumper. På grund af den tunge gas belastning og ventil lækage, vil forårsage kryogene pumpe ofte variable interval regenerering eller ion pumpe reparere ofte og turbo molekylære pumpe kan også bruges til at fjerne pumpe olie forurening af den vakuumkammer.
