Valg af vakuummåleudstyr i forskellige vakuumområder

Groft vakuum

Generelle vakuumanvendelser, vakuummåler af fjedertype (mekanisk elastisk deformationsmåler)

På samme tid, når man måler fra groft vakuum til lavt vakuum, kan membran af vakuumtype, kapacitiv filmtype og et radioaktivt ioniseringsvakuummåler bruges

101325-1000Pa

Ætsende gas, kapacitiv filmmåler

Præcisionsmålingsmuligheder, u-type vakuummåler

Lavt vakuum

Kun til grov indikering indication Tændstøvsugerindikator

1000-0.1Pa

Generelt termoelement eller modstandsvakuummåler

Præcisionsmåling, vakuummåler af komprimeringstype eller tyndfilmsvakmåler af kapacitetstype

højt vakuum

Den vigtigste anvendelse af ioniseringsvakuummåler

10 ^-1-10-10 Pa

Komprimeringsvakuummåler

På samme tid er det påkrævet at måle lavvakuum og højvakuum, sammensat vakuummåler (kombination af ioniseringsvakuummåler og termoelementvakuummåler) eller ioniseringsvakuumåler med højt tryk

Koldkatodeionisering vakuummåler til vakuumudstyr med stor udladningskapacitet og lejligheder med lave krav

  ultrahøjt vakuum (UHV)

BA- type ioniseringsvakuummåler

Fra lavvakuummåling til ultrahøjvakuum, bredvidde ultrahøjvakuummeter eller komposit ultrahøjvakuummeter

10 ^-6 -10 ^-10 Pa

Kold katode magnetisk kontrolleret ioniseringsvakuummåler

meget højt vakuum (XHV)

·

Kold katode magnetisk kontrolleret ioniseringsvakuummåler

U nder   ^10-10 Pa

Varmkatode magnetisk kontrolleret ioniseringsvakuummåler

Forbedret ba-ioniseringsvakuummåler