Ultra-højvakuum pumpesæt
Oct 13, 2023| Ultra-højvakuum pumpesæt
Ultrahøjvakuumenheden arbejder i det ultrahøje vakuumtrykområde på 10-6 ~ 10-10Pa, ud over kravet om, at materialet i vakuumkammeret har en meget lav gasudgangshastighed, en meget lille gaslækagehastighed og kan modstå 200 ~ 450 graders højtemperaturbagning, kravene til enheden omfatter også:
(1) den ultimative vakuumgrad af hovedpumpen skal være høj, mindst 10-7 ~ 10-8Pa ovenfor;
(2) Hovedpumpen har en vis pumpehastighed inden for arbejdstrykområdet for det ultrahøje vakuum;
(3) Enhedens hovedpumpe eller delen over hovedpumpens luftindtag kan modstå højtemperaturbagning på 200 ~ 450 grader;
(4) Partialtrykket af tilbagestrømningsgassen (inklusive arbejdsvæskedampen og den opløste gas) til den autonome pumpe skal være lavt nok;
(5) Hovedpumpen med stærk selektivitet af pumpet gas bør være udstyret med en tilstrækkelig stor hjælpepumpe;
(6) Rør, ventiler og andre komponenter over indsugningsåbningen på enhedens hovedpumpe, udvælgelse og tætning af materialer bør være særlig omhyggelig. Generelt anvendes rustfrit stål med lav gasudgangshastighed og metaltætningsstruktur og tætningsmaterialer.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com