Hvad er de tekniske og strukturelle krav til fordampningsvakuumbelægningsmaskine?
Jan 29, 2019| Hvad er de tekniske og strukturelle krav til fordampningsvakuumbelægningsmaskine?
IKS PVD teknologi, kontakt os nu, iks.pvd@foxmail.com
I. Strukturkrav
1, strukturen af udstyret skal være rimeligt layout, smuk form, nem at betjene, nem at vedligeholde.
2. Strukturen og størrelsen af statiske og dynamiske pakninger i udstyret skal være i overensstemmelse med bestemmelserne i GB / T 6070 og JB / T 1090 ~ 1092.
3. Der skal installeres en vakuummåler på lav- og højvakuumrørledningerne og belægningskammeret for at måle trykket af hver del separat.
4. Hvis udstyrets vakuum enhed domineres af diffusionspumpen, skal baffel eller kold brønd installeres ved diffusionspumpeens indløb.
5, bør belægningsrummet have et observationsvindue, for belægningsprocessen for stråleudstyr bør observationsvinduet være forsynet med antistrålelinser.
6, med emnebagningsudstyret, skal der være temperaturmålingselektrode eller temperaturmåleindretning.
7, rotationshastigheden af arbejdsstykkerammens roterende mekanisme skal opfylde kravene til produktdesign.
8. Udstyret udstyret med ionbombardningsanordning eller brønstråle-energikildekildenhed skal kunne arbejde normalt og stabilt i mere end 30 minutter inden for de parametre, der er specificeret i produktdesignkravene.
9. Varmeapparatet med wolframtråd som fordampningsvarmekilden skal kunne gøre fordampningen af fordampningsmaterialet normalt, og i fordampningsprocessen bør varmelegemet ikke påvirke den normale fordampning.
10. Udstyrets fordampningskilde skal være stabil og let at justere og kontrollere. Tekniske krav til forskellige fordampningskilder (såsom modstandsfordampningskilder, elektronstrålefordampningskilder, ionstrålefordampningskilder, laserinddampningskilder, induktive fordampningskilder osv.) Skal specificeres i overensstemmelse med de relevante produktstandarder.
11. Når udstyret vedtager lavspændings- og højstrømsmodstandsfordampningskilde, skal hver fordamperkildevarmer normalt fungere under spændingstilstanden 4V ~ 20V og strøm 50A ~ 180A.
Ii. Produktionskrav
1. Maskinkvaliteten, svejsekvaliteten og samlingskvaliteten af udstyrets dele og komponenter skal overholde bestemmelserne i fabrikantens tekniske dokumenter.
2. Råhedsværdien af indendørs overflade på udstyrsbelægning og tætningsoverflade må ikke være mere end 1,6 mm, og alle overflader i vakuumtilstand skal rengøres effektivt og tørres med vakuum. Alle roterende dele, løftemekanismen og andre handlinger skal være fleksible, ikke fast, stagnation, løs, rystelser og unormalt lydfænomen mv.
3. Materialerne i udstyrets hoveddele og komponenter skal være i overensstemmelse med de relevante materialestandarder.
4. Kvaliteten af de støttebærende elektriske enheder skal overholde fabrikantens tekniske dokumenter og sikre sikkerheden og pålideligheden af udstyret under drift og drift.
5. Udstyrets udseendeskvalitet skal være fri for ikke-funktionelle krav som skarpe hjørner, kanter, buer og ru overflader. Kanten af den fælles overflade af dele skal være pæn og endog uden åbenlys dislokation. Metaldele skal være faste belægning, ingen nedslidning og rust og andre fænomener, alle stærke dele skal være rustlag. Overtrækets overflade skal være lys og ren, smuk, fast, ingen udstødning, peeling og andre fænomener.
6. De tilknyttede produkter, der købes af udstyret, skal være i overensstemmelse med de tilsvarende produktstandarder og skal have kvalitetscertifikater. De selvfremstillede hjælpeprodukter i udstyret kan kun anvendes efter at have kontrolleret af fabrikantens inspektionsafdeling.
7. Forskellige fordampningskilder, hjælpekilder og ionbombardement, arbejdsstykke rotation, emnebagning, emneforspænding, filmtykkelse overvågning og andre anordninger i udstyret. Det skal foretages fejlsøgning og fælles fejlsøgning. Når emnet er opvarmet til den nominelle temperatur skal vakuumets udendørstemperatur ikke være højere end 45 grader, og den bevægende del af udstyret skal fungere normalt.