Kort introduktion af PVD Coating Sputtering System og Control System
Feb 10, 2018| 
Sputtering System
Sputtering system er kernen i PVD belægning, som består af mål , mål strømforsyning og specialgas. Der er mange slags mål strømforsyning, og de kommer i flere sorter som nedenfor:
1. Ifølge udgangstilstanden er der DC-strømforsyning , vekselstrømforsyning (sinusbølge, firkantbølge), puls strømforsyning og DC-overført puls strømforsyning ;
2. Ifølge udgangsfrekvensen er der DC-strømforsyning , lavfrekvent strømforsyning og mellemfrekvens strømforsyning ;
3. Ifølge strømmen er der lav strømforsyning, mellemstrømforsyning, højspændingsforsyning og super-strømforsyning;
4. Ifølge kontroltilstanden er der konstant strømforsyning, konstant spændingsforsyning og konstant strømforsyning.
Kontrolsystem
Kontrolsystem er hele enhedens sjæl, det styrer driften af hele systemet. Kontrolsystemet består af software operativsystem, data indsamling system, data analyse system og executive transmission system og så videre. Blandt dem indsamler dataindsamlingssystemet, flow (damp), vakuumtryk, motorhastighed, ventilposition og anden information. Desuden er Software operativsystem og dataanalysesystem PLC under de fleste omstændigheder. Desuden består det udførende transmissionssystem af forskellige relæer, kontaktorer, magnetventiler, kontakter osv.