Egenskaber og klassificering af Ultra høje vakuum enheder

Characteristics og klassificering af ultra høje vakuum enheder

IKS PVD, PVD vakuum belægning maskine fremstilling, kontakt med os nu, iks.pvd@foxmail.com, du kan få flere oplysninger om belægning maskine.

De ultra-høje vakuum enheder arbejder på mere end 10^-5PA har diffusion pumpe, Molekylær pumpe ultra-højt vacuum enheder og olie-fri ultrahøj vakuum enheder. Enhederne har følgende karakteristika:

1. høj ultimative vakuum graden af de vigtigste pumpe, 10^-7~ 10^-8PA ovenfor;

2.Kan modstå høje temperaturer på 200 ~ 450℃bagning;

3.Partialtrykket af tilbagestrømning gas i de vigtigste pumpe er meget lavt;

4. for de vigtigste pumpe pumpet gas selektivitet udstyret for at være med en stor nok ekstra pumpe;

5. krav af vakuumkammer, rør, ventil og andre komponenter i den materielle output hastighed er meget lav, udsivningen er meget lille.

(1) diffusion pumpe ultra-højt vacuum enhed

Diffusionspumpe som en prioritet pumpe i den ultimative vakuum enhed, den ultra høje vakuum grad er 10-7 ~ 10-8 pa.

For at reducere fra diffusionspumpe før niveauet for gas diffusion og blokere mekaniske pumpe olie anti diffusion virkning på den ultimative vakuum, men foran diffusion pumpe niveau skrive en lille pumpe hastighed af diffusionspumpe, for at reducere komprimeringsforholdet , reducere diffusion som diffusion pumpeindgangen, tilføje titanium sublimation godt ovenfor kan yderligere reducere partialtrykket kvælstof fra diffusionspumpe, kan få 10 til 11 pa ultra høje vakuum.

(2) molekylære pumpe ultra høje vakuum enhed

Den ultra høje vakuum enhed med molekylær pumpe som de vigtigste pumpe har en maksimal vakuum graden af 10-8pa, som er karakteriseret ved hurtig opstart og små olieforurening. Derudover kan en flydende kvælstof kolde godt føjes til enheden for at øge den pumpe hastighed. Forkølet vand kan godt være indstillet ved udgangen af den mekaniske pumpe til forhindre olie dampe ind i systemet.

(3) olie gratis ultra høje vakuum enhed

Vakuum enheder, der ikke bruger olie som arbejdende væske og er ikke forseglet med organiske materialer er kendt som de vigtigste pumper almindeligvis anvendes i olie-gratis ultra-højt vacuum enheder, såsom kryogene pumper, titanium pumper, spruttende ion pumper, osv., som kan få ultimative vakuum graden af 10^-7~ 10^-8PA. Sammenlignet med olie-holdige vakuum enheder, har det følgende fordele:

1) ren vakuum uden forureningskilder kan opnås;

2) når vakuumpumpen olie-fri er startet, før pumpe pumpen kan være isoleret;

3) hvis den pumper stopper pludselig, at systemet ikke forurenet;

4) ingen olie, ingen vibrationer, forbedre arbejdsmiljøet;

5) høj grænse vakuum, højt pumpning hastighed, korte pumpe tid.