Klassificering af forspænding i belægningsprocessen
Mar 22, 2022| Klassificering af forspænding i belægningsprocessen:
1, dc negativ bias
De positive ioner i plasmaet kan opnå mere energi ved at belaste en negativ DC-forspænding på emnet. De positive ioner kan fremskynde bombardementet af emnet og styre aflejringen af de ladede ioner, der sprøjtes fra overfladen af målet til en vis grad. Dc negativ bias er kontinuerlig uden afbrydelse, så den har en vis varmeeffekt på underlaget.
2, dc positiv bias
Ved gasudledning af ionplettering viser de gaskerneholdige partikler et vist negativt potentiale. I dette tilfælde belastes emnet med en vis positiv forspænding, hvilket er gavnligt for filmaflejring.
3. Pulsbias
Oscillerende plasma. Plasmadensiteten og temperaturen kan øges ved at reducere pulsbelastningsforholdet og øge intensiteten af pulsstrømforsyningen. Bombarderingseffekten er forbedret på alle typer substrater (ledende ikke-ledende). Som følge heraf øges overlevelsestiden for sekundære elektroner, kollisionssandsynligheden øges, og plasmatætheden øges. Afsætningshastigheden kan styres ved at justere pulsfrekvens og driftscyklus. Temperaturstigningen kan kontrolleres ved at justere pulsfrekvens og driftscyklus, og film kan dannes ved lav temperatur for at undgå beskadigelse af substratets oprindelige væv. For flere buer er aflejringshastigheden for høj, så den er ikke egnet til filmaflejring af elektroniske enheder og andre præcisionsemner. Indførelsen af pulsbias kan effektivt forbedres.
4, nul bias og suspension bias
I belægningsprocessen uden ladede partikler (såsom simpel fordampning osv.), kan nul bias/suspension bias anvendes.
Tolerance af lavtemperatur-emne (såsom plastdele osv.) belægning, for at forhindre deformation af emnet, kan vælge nul-forspænding/ophængsforspænding eller vælge lille arbejdscyklus lav amplitude forspænding.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, nøgleprojektet er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail:iks.pvd@foxmail.com