Detaljeret struktur af Vacuum Coating Machine

Detaljeret struktur af vakuumcoating maskine

Højvakuumbelægningsmaskine, belægningsmaskine er det mest anvendte udstyr til fremstilling af vakuumbetingelser. Dets relaterede komponenter: mekanisk pumpe, boosterpumpe, oliediffusionspumpe, kondenspumpe, vakuummålesystem.

I det følgende indfører jeg detaljeret sammensætningen og arbejdsprincippet for hver del.

1. Vakuum hovedkrop - vakuumkammer

Ifølge de forskellige krav til behandling af produkter er størrelsen af vakuumhulrummet ikke den samme, den mest almindeligt anvendte i øjeblikket er 1,3M, 0,9M, 1,5M, 1,8M osv., Hulrummet er fremstillet af rustfrit stålmateriale, ikke rust, fast osv., har hver del af vakuumhulrummet en forbindelsesventil, der bruges til at forbinde pumpen.

2. Hjælpepumpe

Udstødningssystemet er sammensat af "diffusionspumpe + mekanisk pumpe + rødderpumpe + lavtemperatur kold fælde + polycold"

Udstødningsstrømmen er som følger: Den mekaniske pumpe pumper først vakuumkammeret til en lavvakuumtilstand på mindre end 2,0 * 10-2pa, hvilket giver forudsætningen for diffusionspumpen for at pumpe vakuumet. Senere, når diffusionspumpen pumper vakuumkammeret, danner den mekaniske pumpe og oliediffusionspumpen en serie for at fuldføre pumpepåvirkningen på denne måde.

Udstødningssystemet er en vigtig del af belægningsmaskinens vakuumsystem. Den består hovedsagelig af mekanisk pumpe, boosterpumpe (primært indført rødderpumpe) og oliediffusionspumpe.

Mekanisk pumpe: Mekanisk pumpe er også en af de mest anvendte lavvakuumpumper. Det er olie for at opretholde tætningsvirkningen og stole på mekaniske metoder til konstant at ændre volumenet af sugekaviteten i pumpen, således at volumenet af gassen i den pumpede beholder ekspanderes konstant for at opnå vakuum.

Der er mange slags mekaniske pumper, der almindeligvis anvendes med glideventil type (dette anvendes hovedsageligt i stort udstyr), stempelgendannelse, fast og roterende klinge type (dette er i øjeblikket den mest udbredte, dette papir introduceres primært) fire typer.

Mekanisk pumpe bruges ofte til at fjerne tør luft, men kan ikke fjerne oxygenindholdet er for højt, eksplosiv og ætsende gas. Den mekaniske pumpe bruges generelt til at fjerne permanent gas, men har ingen god effekt på vandgas, så det kan ikke fjernes vand gas. Rotationsvognens pumpe spiller en stor rolle i stator-, rotor-, shrapnel- og rotorens dele, rotoren i statoren, men forskellig fra statormandelerne, som to indskrevne cirkler, rotorrille med to stykker shrapnel, to stykker shrapnel med en fjeder i midten for at sikre, at shrapnel strammer fast til statorvæggen.

Dens to shrapnel spiller skiftevis to roller, på den ene side fra luftindtaget i gassen, derimod er komprimeret i gasen, gasudladningspumpen. Hver rotation af rotoren, pumpen afsluttede to sug og to udstødninger. Når pumpen kontinuerligt drejes med uret, pumpes rotationsvingen kontinuerligt gennem indblæsningsgasindtaget og kontinuerligt fra udstødningsgassen uden for pumpen for at opnå formålet med beholderpumpen. For at forbedre den begrænsende vakuumpumpe holder pumpestatoren gennemblødt i olie og overalt i afstanden af skadelig plads ofte tilstrækkelig olie inde, fylder spalten, så oliesmøring på den ene side og forsegling og pluggap og den skadelige virkning af rummet, forhindrer gasmolekylet omvendt at strømme gennem forskellige kanaler til det lave tryk i rummet.

Den mekaniske pumpe starter fra atmosfæren, hovedparameteren har grænsevæsken, pumpens hastighed, dette for design og vælger den mekaniske pumpe det vigtige grundlag. Enkeltstrøms pumpe kan pumpe beholderen fra atmosfæren til grænsevæsken på 1,0 * 10-1pa, mekanisk pumpe med dobbelt trin kan pumpe beholderen fra atmosfæren til 6,7 * 10-2 pa eller endnu højere.

Udvindingshastigheden refererer til det volumen af gas, der kan udledes pr. Tidsenhed, når rotationsvingen er i drift i henhold til det nominelle antal omdrejninger, der kan beregnes ved hjælp af følgende formel

Sth = 2nVs = 2nfsL

Fs står for det mellemrumsareal af rumtidsrummet ved inspirationens ende, L står for hulrummets længde, koefficienten står for rotorens udstødningsproces to gange hver rotationscyklus, Vs står for slutningen af inspiration, når Rotoren er i vandret position, volumenet i rumtidsrummet er det største, og rotationshastigheden er n.

Effekten af den mekaniske pumpeudstødning med motorens hastighed og båndløsheden har forhold, når motorens bånd er løs, motorens hastighed er langsom, vil mekanisk pumpens udstødningseffekt blive værre, så ofte at opretholde tally , skal også ofte kontrollere mekanisk pumpeolietætning, olie er for lille, kan ikke klare forseglingseffekten, inde i pumpelækage, olie for meget, sugeprop, inspiration og udstødning, generelt 0,5 cm i olieniveauet i offline.

Turbo pumpe / rødder pumpe: den skal have et synkront højhastighedstog roterende dobbeltblad eller mekanisk pumpe rotor mekanisk pumpe, fordi den fungerer som den samme som rødder blæser, så også kan kalde røtter vakuumpumpe, pumpen i rækkevidde på 100-1 mpa trykudvindingshastighed i høj grad, det gør det muligt for mekanisk pumpeudsugning utilstrækkelige mangler i dette omfang, pumpen kan ikke starte arbejde fra atmosfæren, har ingen direkte udledning af atmosfæren, dens rolle er kun at øge differenstrykket mellem indløb og udløb, resten af den mekaniske pumpe er nødvendig for at afslutte, derfor skal den matche med mekanisk pumpe som bagpumpen.

Mekanisk pumpe ved brug af processen skal være opmærksom på følgende problemer:

1, mekanisk pumpe skal installeres på et rent og tørt sted.

2, pumpen selv for at holde ren og tør, pumpen olie har en forsegling og smøring, så at blive tilføjet i overensstemmelse med den angivne mængde.

3, for regelmæssigt at udskifte pumpen olie, udskiftningen skal udledes før spildeolie, cyklus i mindst tre måneder til seks måneder at erstatte en gang.

4. Tilslut ledningerne i henhold til vejledningen.

5, inden den mekaniske pumpe stopper arbejdet for at lukke indsugningsventilen, så strømafbrydelse og åbne luftventilen, luften ind i pumpen gennem indløbet.

6, under pumpens arbejde kan olietemperaturen ikke overstige 75 grader Celsius, ellers er viskositeten af olien for lille og fører til lakseforsegling.

7, eller kontroller den mekaniske pumpebæltelæthed, motorhastighed, rotationspumpens motorhastighed og tætningsringens tætningseffekt.

Oliediffusionspumpe: grænsevæsken for den mekaniske pumpe er kun 10-2 pa, når den når 10-1 pa, er den faktiske pumpes hastighed kun 1/10 af teorien, hvis du vil have højvakuum, skal du bruge oliediffusion pumpe.

Da oliediffusionspumpe er den første pumpe, der bruges til at opnå højvakuum, er det billigt, nemt at vedligeholde og meget udbredt, så dette papir vil fokusere på diskussion.

Olie diffusionspumpe anvendelsestrykområde er 10-1 -10-7 pa, det er brugen af gas diffusion fænomen til udstødning, den har en enkel struktur, nem at betjene, pumpens hastighed er stor (den højeste kan nå 10 + 5 l / s) og andre egenskaber. Oliediffusionspumpen består hovedsageligt af pumpehul, dyse, afledningsrør og varmelegeme. Oliediffusionspumpen (d-704 # i Japan) er hovedsageligt tilsat indeni. Ifølge antallet af dyser kan den opdeles i en-trins pumpe og multi-trins pumpe.

I bunden af diffusionspumpen opbevares diffusionspumpeens olie. Den øverste del er luftindtaget, og den nederste del på højre side er luftudtaget. Under driften er luftudtaget forsynet med præpositionstrykket med den mekaniske pumpe, og den mekaniske pumpe ACTS som præpositionspumpe.

Når diffusionspumpens olie opvarmes af den elektriske ovn, frembringer den producerede oliedamp det forspændingstryk, og den mekaniske pumpe ACTS som forspændingspumpen. Når diffusionspumpens olie opvarmes af den elektriske ovn, udledes oliedampen ned gennem røret gennem paraplydysen. Fordi der er et 1-10-1 pa vakuum tilvejebragt af den mekaniske pumpe uden for dysen, kan oliedampen udstødes i en vis afstand og danner en jetstrøm i retning af luftudgangen. Endelig møder strålen pumpevæggen afkølet af kølevand, kondenserer til væske og strømmer tilbage til fordamperen, dvs. fordamper, støtter, kondenserer og cirkulerer gentagne gange for at opnå luftudvinding.

Ved gasmolekylerne i luftindtaget i pumpen faldt en gang i dampstrømmen, ned bevægelsens momentum ned på grund af strålen med høj hastighed (200 m / sek.), Dampens højdensitet og diffusionspumpeolie med høj molekylvægt (300-500), kan den effektivt tage gasmolekyler, så inden for grænsefladen af jet kan gasmolekylerne ikke strandet i lang tid, og jetstrømmen på begge sider af grænsefladen , er koncentrationen af røggassen meget dårlig, kun på grund af denne koncentrationsforskel på tværs af handlingsgrænsefladen i røggasdiffusion i jet, blev taget til udgangen og ved udgangen af den mekaniske pumpe.

Damptrykket i diffusionspumpen er en vigtig faktor til bestemmelse af pumpens ultimative støvsugning.

Diffusionspumpe kan ikke bruges til pumpning alene. De generelle krav til pumpens maksimale udløbstryk er 40 pa. Diffusionspumpe pumpesøjen er planlagt til dyseens første niveau og pumpens krop af indløbsdiameter, størrelsen af det cirkulære område mellem pumpens hastighed er ikke en konstant værdi, men varierer med lufttilførselstrykket, når tryk i 2 ~ 10 -10-3, diffusionspumpe sugningshastighed er den hurtigste, når trykket er mindre end 5 * 10-4 mpa, diffusionspumpe sugningshastighed minimum, næsten ingen sugekapacitet (på dette tidspunkt er indløbstrykket højere på grund af dets høj luftdensitet, gør damp manifolden til en højhastighedstråle for at blokere luftdiffusion, så pumpens hastighed nede).

Diffusionspumpen skal rengøres før installation, og derefter kan diffusionsolien lægges i. Før olien opvarmes, skal pumpen først støvsuges, og diffusionspumpens olie skal afkøles til 60 ~ 70 grader Celsius, før maskinen lukkes. Derefter kan forgassens udstødningsgas lukkes, og til sidst kan kølevandet lukkes.

Fordi oliediffusionspumpen ikke er i stand til at stoppe olieudfaldet, er det ikke muligt at garantere præcisionsprodukter 100% rent, især i halvlederindustrien, så der er en "højvakuumkondenspumpe + mekanisk pumpe med lavt vakuum" oliefri vakuumsystem, der består af kondensatpumpens udstødningssystem, der består af ikke kun udstødningseffektivitet, er meget høj og sikrer effektivt vakuumkammerets rensning, sikrer produktets kvalitet (for at undgå forurenede produkter øger vedhæftningen mellem belægningen og substrat), men vedligeholdelsesomkostningerne er meget høje, dyre, så der er ingen olie diffusionspumpe i vid udbredelse.

Lav temperatur kondenserende pumpe: Det er en slags pumpe, der kondenserer gasmolekyler på overfladen af lav temperatur for at realisere pumpning.

Arbejdsprincipen for kondenspumpen: Det er hovedsageligt kondens-, koldtanknings- og fysisk lavtemperaturadsorption af gassen på overfladen med lav temperatur.

Kryogen kondensation: Væske helium eller kølecyklus helium anvendes til afkøling i overensstemmelse med egenskaberne af forskellige gasser.

Kaldfangning: Det er fænomenet, at ikke-kondenserbar gas er fanget af kondenserbar gas. Som regel danner gasser som kuldioxid, vanddamp, nitrogen og komprimeret gas frost og danner derefter et adsorptionslag på overfladen med lav temperatur for at opnå formålet med adsorption af andre gasser. Dette er grunden til, at virkningen af kryogen pumpe ved fjernelse af blandet gas er bedre end for enkeltgas.

Lavtemperatur adsorption: refererer til adsorption af gas ved adsorbent på overfladen af lav temperatur. På grund af den stærke vekselvirkning mellem adsorbent og gasmolekyler kan damptrykket være lavere end mætningens damptryk ved kondensations overfladetemperatur. Adsorbenten er normalt aktiveret carbon.

Pumpehastigheden af kondenspumpen og pumpefrekvensen, der påvirker kondenspumpen, er relateret til størrelsen af kondenseringsfladen. Ifølge dataene er pumpens hastighed pr. Enhed af det kondenserende overfladeareal 11,6 l / s. Desuden har adsorptionsoverfladens geometri og placering af aktiveret carbon, aktiveret kulstofpartikelstruktur, bindematerialer og bindingsproces, en stor indvirkning på pumpens hastighed. For det andet er nøglen kølekapaciteten i køleskabet stort nok .

Vakuummåler: Vakuummåler er en vigtig del af vakuumbelægningsmaskinen, det er et vigtigt middel til at teste vakuumgraden af belægningsmaskinen. Vakuummåleren kan opdeles i absolut vakuummåler og relativ vakuummåler i overensstemmelse med dens arbejdsprincip. Den absolutte vakuummåler kan direkte måle trykniveauet, mens den relative vakuummåler kun kan indirekte måle vakuumgraden.

Dette papir introducerer hovedsageligt følgende vakuummålere, der almindeligvis anvendes i belægningsmaskinen:

Modstand vakuummåler (også kendt som pirani vakuummåler):

Den består hovedsagelig af elektrisk varmeledning, skal og beslag, hovedsageligt baseret på lavtrykket, og den termiske ledningsevne af gassen er proportional med trykket fra vej til arbejde. Ovennævnte åbning er forbundet med vakuumsystemet under test. Den varme ledning er lavet af metal tråd med høj temperatur koefficient modstand. De to støtteledninger er forbundet med målebåndet. Når trykket falder, falder varmen tabt gennem gasvarmeledning. Derfor, når varmestrålens varmestrøm er stabil, stiger temperaturen på den varme ledning og modstanden af den varme ledning stiger. Trykket måles indirekte ved at måle modstanden af den varme ledning.

Dette er arbejdsprincipet for modstands vakuummåler, vakuummålerens måleområde er: mellem 100-10-1 mpa, er WP-02-modellerne, der anvendes i øjeblikket .

Magnetisk styret udledning vakuummåler:

Hvordan det virker: Elektronbanen er i begyndelsen af udladningen på grund af rummet, frie elektroner fra anodebevægelsen under effekten af ortogonalt elektromagnetisk felt, ikke lige linje, men spiral, og fordi anoden er ramme, så den elektroniske ikke for første gang opfyldt anoden, men gennem anoden og afvisningen ved katoden og efter retur. Dette kan gentages mange gange på anoden. Da elektronbanen forlænges væsentligt, øges antallet af molekyler, der kolliderer og ioniserer, således at udledningen (også kaldet penningsudladning) opretholdes ved et relativt lavt tryk (under 10-4 pa).

I øjeblikket omfatter flere modeller PKR251 og gi-pary.

Udstødningsrørvakuummåler: To metalelektroder forsegles i glasrøret, og der tilsættes en høj DC-spænding på flere tusinde volt. Selvbærende udladning kan forårsages inden for et bestemt trykområde (1 * 10-3 ~ 2 * 10 parenteser). Vakuumgraden kan bestemmes af udtømningsfarven.

Indtil videre har denne type vakuummåler sjældent været brugt på grund af dens store fejl, let beskadigelse og kort levetid.

3. Fordampningssystem

Fordampningssystemet refererer hovedsageligt til den filmdannende indretning. Der er mange filmdannende anordninger i belægningsmaskinen, herunder modstandsopvarmning, elektronpistolinddampning, magnetronsputtering, rf sputtering, ionplating osv. Jeg vil introducere de to metoder til modstandsopvarmning og elektronkanoninddampning, fordi jeg bruger disse to metoder mere.

Ifølge dens struktur og arbejdsprincip er modstandsfordampning langt den mest anvendte fordampningsmetode og også den med den længste anvendelsestid. Den måde det virker på er, at wolframen som et skib og derefter installeres i midten af de to elektroder i midten af wolframbådene med urter, igen langsomt til elektrodstrømmen, strømmen igennem wolframen, wolframbådens elvarme, lavspænding, høj strøm gør wolfram båd til at generere varme, høj smeltepunkt og varmeoverførsel til belægningsmaterialet, når mængden af varme af wolfram båd er højere end smeltepunktet af belægningsmateriale, materialet sublimering eller fordampning, denne metode fordi let betjening, enkel struktur, lav pris, så er der meget udstyr, der bruges, men fordampning af tynd film på grund af den lave tæthed, og meget materiale kan ikke bruge denne måde til fordampning, så det har visse begrænsninger. Tungsten båd fordampning belægningsmateriale materiale smeltepunkt skal være mindre end smeltepunktet af wolfram båd, ellers er der ingen måde at udføre.

Elektronkanonfordampning er den mest anvendte fordampningsmetode hidtil. Det kan fordampe enhver form for belægningsmateriale. Dens arbejdsmåde er: Belægningsmateriale i diglen, fordampningskilden i en filamentform, ved hjælp af et specielt styreskab, glødetråden med stærk strøm, højspænding, på grund af materialet er wolframfilament, så det bliver varmt i slutningen vil lancere elektronisk og vedtagelsen af et bestemt magnetfelt indsamles i en bestemt form og trækker på diglen og danner således en stråle, fordi elektronens temperatur er meget høj, kan smelte eventuelle belægningsmaterialer som belægningsmaterialerne er efter elektronstrålesmeltning (noget af materialet er direkte sublimt), medicinske urter af molekyler (atomer eller ioner) i et vakuum i lineær bevægelse, så møder bundkortet og kondenseres derefter Efter denne vækstform danner en film ! Den mest anvendte er at gøre afbøjningens vinkel af elektronstrålen til 270 grader, eller e-line-elektronvåben med bane af e eller elektronstrålen med bane på 180 grader, og c-type elektronvåben med bane af c.

Den største fordel ved elektronstrålefordampning er, at elektronstrålefladen kan justeres efter ønske, glødet kan være skjult, undgå forurening, kan fordampe ethvert belægningsmateriale, let vedligeholdelse, fordampningshastigheden kan styres efter ønske, lille materialedbrydning , høj filmdensitet. God mekanisk styrke .

Sputtering metode er at bombardere overfladen af målmaterialet med høj hastighed positive ioner. Gennem kinetisk energioverførsel har molekyler (atomer) af målmaterialet tilstrækkelig energi til at undslippe fra overfladen af målmaterialet og derefter koagulere på overfladen af produktet til dannelse af en film.

Filmen deponeret ved forstøvningsmetode har stærk vedhæftning og høj renhed, og kan sputtere en række forskellige materialer på samme tid. Det har dog høje krav til målmaterialet og kan ikke spare ressourcer som elektronkanonen.

I øjeblikket er magnetronforstøvning den mest almindeligt anvendte metode. Magnetronforstøvning er at påføre et forbedret elektrisk felt parallelt med katodeoverfladen og holde elektronerne nær katodemålfladen for at forbedre ioniseringseffektiviteten. Det er den enkleste form for operation, så den er meget udbredt.

4. Filmdannelsesstyringssystem

I øjeblikket er der mange metoder til filmovervågning, såsom visuel overvågning, fast værdiovervågning, krystaloscillationsovervågning, tidsovervågning og så videre. Jeg introducerer primært visuel overvågning, fast (ekstrem) overvågning og krystaloscillationsovervågning tre.

Visuel overvågning, også kendt som direkte overvågning, er brugen af øjeovervågning, fordi filmen i vækstprocessen på grund af forstyrrelsesfænomenet vil have farveændringer, er vi baseret på farveændringer for at kontrollere filmens tykkelse, dette Metoden har en vis fejl, så det er ikke meget præcist, vi skal stole på erfaring.

Overvågning af ekstrem værdi (ekstrem værdi): Brug primært optisk overvågning af refleksionstype (gennem type). Ekstern værdi overvågningsmetode: Når filmtykkelsen øges, vil dens reflektans og penetrationshastighed følge ændringen, når reflektansen eller penetrationshastigheden til det ekstreme punkt kan vi vide, at den optiske tykkelse af ND er en fjerdedel af overvågningsbølgelængden ( til) heltalstider. Fejlen i ekstreme værdimetoden er imidlertid forholdsvis stor, fordi når refleksiviteten eller transmittansen ændrer sig meget langsomt nær ekstreme værdien, øges filmtykkelsen ND meget, R / T-ændringer. Den mere følsomme position er ved en ottendedel af bølgelængden.

Overvågningsmetode med faste værdier: Denne metode ANVENDER stoppletteringspunktet for ikke at overvåge kvartbølgelængden af bølgelængden, og computeren beregner derefter reflektansen (eller penetrationshastigheden) af den totale filmtykkelse ved bølgelængden, hvilket er stopbelægningen punkt.

Krystaloscillationsovervågning:

Arbejdsprincippet for krystaloscillation er, at kvartskrystalets vibrationsfrekvens er omvendt proportional med dens masse. En af ulemperne ved kvartsovervågning er imidlertid, at når filmtykkelsen stiger til en vis tykkelse, er vibrationsfrekvensen ikke helt på grund af egenskaberne hos kvarts selv, så der er et lineært forhold mellem tykkelsen og frekvensen.

Flere overvågningsmetoder har deres egne fordele og ulemper, men som regel multilayer belægningen vil optisk overvågning være den vigtigste kvarts krystaloscillation som en hjælpemetode.

Derudover skal for nogle i belægningsprocessen fyldes med gasstrømskontrolmåler eller trykreguleringsmåler, disse skal bruge avancerede ventiler og fotoelektriske sensorer til styring.

I belægningsprocessen behøver også roterende kontrolsystem, er at sætte paraplyens hovedaksel i lejet, og brug derefter motoren til at køre lejet, så paraplyen roterer. Derefter styrer PLC sin rotationshastighed.

Dæksens rotation er drevet af en elektrisk motor, den fotoelektriske induktionstællingsmetode er vedtaget, og afskærmningspladen roteres ved hjælp af pneumatisk omskifter.

For at fremskynde udvindingshastigheden og opnå en vis grad af vakuum skal vakuumkammeret også være kølet, dvs. luften inde i vakuumkammeret er frosset til -130 grader Celsius, og vandluften inde i vakuumkammeret er frosset og pumpet ud.

PLC automatisk kontrol, elektrisk kontrol del af artiklen er den første i PLC input design program på forhånd, processorens hoved kredsløb forbundet til det tomme system på betjeningspanelet, når du trykker på kontakten på betjeningspanelet, informationsoverførsel til centralen behandlingsenhed (CPU) og derefter ved centralstyringsanalysen og implementere og fuldføre handlingerne fra filialen udstedte instruktioner.

Coating Machine er en multidisciplin af udstyr, IT integrerer branchens mest avancerede mekaniske og elektroniske teknologi, styringsteknologi, elektrisk automation, it-teknologi, køleteknologi, mikrokredsløbssystemer, højtryksstyringssystem, mekanisk teknologi, teknologi, fotoelektrisk teknologi , optisk teknologi, pneumatisk styringsteknik, fotoelektrisk sensorteknologi, kommunikationsteknologi, vakuumteknologi, optisk film og belægningsteknologi, og så videre.

Det kan siges, at belægningsmaskinen er en ny repræsentant for industrien.

I dag er coating maskine blevet anvendt i vid udstrækning, plating film især bredt, produktion af forskellige former for tynd film blev anvendt til det fotoelektriske system og optiske instrumenter, såsom digitale kameraer, digitale kameraer, kikkert, projektor, energikontrol, optisk kommunikation, display teknologi, interferometer, satellit missiler, halvleder laser, mems, informationsindustrien, produktion af laser, alle former for filter, belysning industri, sensorer, arkitektonisk glas, bilindustrien, dekoration, mønter, briller mv. tæt forbundet med menneskelivet.

Omkostningerne ved en importeret belægningsmaskine når normalt 3 millioner til 10 millioner RMB, og prisen på husholdningsudstyr er ca. 1 million RMB.

IKS PVD, vi kan tilbyde værktøjer coating maskine, dekorative coating maskine, optisk coating maskine, kontakt os nu, iks.pvd@foxmail.com