Miljøkrav af PVD-belægningsudstyr
Jan 20, 2018| Da vakuumbelægningsmaskinen arbejder under vakuumbetingelserne, skal udstyret opfylde miljøkravene i vakuumet.
De angivne industristandarder for vakuumbelægningsmaskine (herunder generelle tekniske specifikationer vakuumbelægningsudstyr, vakuum ionplating udstyr , vakuum sputtering belægningsudstyr og vakuum fordampning belægning udstyr) alle skabe klare krav til miljøet. Kun at opfylde miljøkravene i vakuumbelægningsudstyr kan producere gode PVD-belægninger.
Miljøkravene for et vakuum, der generelt indbefatter kravene til vakuumudstyret på laboratoriemiljøet (eller værkstedet), hvor vakuumudstyret er placeret, såsom temperatur og partikler i luften. Samt kravet om komponenter eller overflade udsat i vakuum eller i vakuum tilstand. Disse to aspekter er tæt forbundet. Kvaliteten af det omgivende miljø påvirker normalt den normale anvendelse af vakuumudstyr, og vakuumkammeret eller komponenterne i kammeret er rene eller ikke har direkte indflydelse på udstyrets ydeevne. Hvis luften indeholder en masse vanddamp og støv, er vakuumkammeret ikke rent, det er ikke egnet til at pumpe ud luften, der kan korrodere metal, reagere med vakuumolie eller støvpartikler. Vanddamp er en form for kondensabel gas, når en stor mængde kondensabel gas udvindes, vil forurening af pumpens olie blive mere alvorlig. Som følge heraf vil pumpens ultimative støv falde, og den daværende nedsætter pumpens pumpevirkning.
Støv i industrielle miljøer er kendetegnet ved pulver, aerosol og støv. Pulver betyder en samling pulver eller faste partikler. Aerosol er et materiale system, der flyder i luften i form af faste stoffer eller flydende molekyler. Uanset om materialet er fast eller flydende, kan partikler kollektivt betegnes som støvpartikler. Standarden for luftrensning bestemmes af støvpartiklernes størrelse og tilpasser derefter niveauet for det rene rum.
De normale betingelser for vakuumbelægningsudstyr, herunder:
1. Omgivelsestemperatur: 10 ~ 30 ° C
2. Relativ fugtighed ≤ 70%
3. Indløbstemperaturen for kølevand er ikke højere end 25 ℃
4. Kølevand er byvand eller lignende vand.
5. Forsyningsspændingen er 380V, trefaset er 50Hz eller 220V, enfaset er 50Hz (bestemmes ved kravet om at arbejde elektriske apparater), spændingsfluktueringsområdet er 342V ~ 399V eller 198V ~ 231V, frekvensfluktueringsområdet er 49 ~ 51Hz .
6. Påkrævet trykluft, flydende nitrogen, varmt og koldt vandtryk, temperatur og forbrug af udstyr skal angives i produktmanualen.
7. Det omgivende miljø skal være rent og ryddeligt. Luften må ikke indeholde støv eller gas, der kan forårsage korrosion på overfladen af elektriske apparater og andre metaldele eller forårsage metalledernes elektriske ledningsevne.
Desuden skal laboratoriet eller værkstedet, hvor vakuumudstyret er placeret, være rent med terrazzo eller gulvbelægning. For at forhindre, at den gas, der udledes af den mekaniske pumpe, forurener laboratoriemiljøet, skal udstødningsrøret (metal og gummi rør) installeres på pumpens udstødningsåbning for at udlede gasen ud af rummet.
