Indflydelse af magnetronforstøvningsprocesparametre -N2 Flowhastighed
Sep 03, 2024| Indflydelse af magnetronforstøvningsprocesparametre -N2 flowhastighed
Den kemiske sammensætning, mikrostruktur og forskellige egenskaber af den (Cr,Ti,Al) N kvaternære belægning kan justeres ved at ændre N2-flowhastigheden. Forskerne fandt ud af, at med stigningen af N2-flow, vil N-indholdet og nitrid-hårdfaseindholdet i (Cr,Ti,Al) N-belægning også stige, og hårdheden, elasticitetsmodulet, bæreevnen og filmbase-bindingskraften af belægningen vil også stige tilsvarende, hvilket effektivt kan reducere overfladeruheden, friktionsfaktoren og slidhastigheden af belægningen. Forbedre belægningens slidstyrke markant [57-58]. Men med den yderligere stigning i N2-flowet, stiger sputtertrykket, den gennemsnitlige frie vej af ioner falder, og energitabet af ioner øges, hvilket vil påvirke krystallisationskvaliteten og filmdannelsesstrukturen af belægningen, hvilket resulterer i et fald på belægningshårdhed [59]. Forskerne fandt også, at med stigningen i N2-flowet viste aflejringshastigheden af (Cr,Ti,Al) N-kvartære belægninger en tendens til først at stige og derefter faldende [60]. Dette skyldes, at en forøgelse af strømningshastigheden af N2 vil øge reaktionsgraden af målpartikler med N2 og dermed øge belægningens aflejringshastighed. Forøgelsen af N2-strømningshastigheden vil dog også øge sputtertrykket, og spredningseffekten af partikelstrålen (inklusive sputterpartikler, der bombarderer målet og aflejrede partikler på den filmdannende overflade) vil stige, hvilket resulterer i et fald i antallet af aflejrede partikler når substratoverfladen pr. tidsenhed, så belægningsudfældningshastigheden vil også vise en nedadgående tendens. Derudover vil et for højt N2-partialtryk føre til dannelse af flere nitridfaser på overfladen af målet, hvilket vil øge graden af målforgiftning, hvilket også vil påvirke belægningens aflejringshastighed.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, nøglefærdigt projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com