Nøglepunkter For køber vakuum belægning maskine

Følgende er de vigtigste punkter for køber vakuum belægning maskine:

1. vakuum systemet består af mekaniske pumpe, diffusionspumpe, olie booster pumpe, rødder pumpe, turbo molekylære pumpe og forskellige godt matchede pneumatisk ventil, manuel ventil, elektriske ventiler, rørledninger og så videre.

2. valg af belægning udstyr i forskellige specifikationer og typer efter forarbejdningskrav, herunder termisk fordampning, elektron beam fordampning, magnetron sputtering, magnetron reaktive sputtering, ion plating, hul katode ion plating, multi arc ion plating, osv.

3. selve ovnen kan være rustfrit stål, carbon stål eller dobbelt-lag vand-køling struktur, der gjorde deres kombination.

4. den klemme kører mode herunder rotation, orbit motion og rotation + bane bevægelse. Brugerne kan foretage tilsvarende krav såsom rotationshastighed, rotation range og rotation nøjagtighed, etc. efter substrat størrelse og form.

5. puste system kan være masse flowmåler, float flowmåler + nål ventil gauge og tilsvarende opladning ventil, brugere kan også vælge flere gasledninger opladning og tilsvarende flow-parametrene.

6. valg af belægning metode og belægning formen i overensstemmelse med kravene til proces, kan vakuum målesystem være digitale intelligent vakuum gauge og høj kvalitet måling målere og andre måleinstrumenter. Film tykkelse måling system kan være firkantede modstand måling meter, penetration hastighed meter og så videre.

7. kan de anvendte Karakteristik af udstyr, kontrolsystem være manuelkontrol metode, semi-automatisk kontrol metode, fuldautomatisk kontrol metode eller en kombination af disse.

8. perfekt alarmsystem, der kan give lyd-lys alarmer for vakuumkammer kroppen, vandmangel, diffusion pumpe fiasko, lufttryk, overspænding, over nuværende og andre uregelmæssigheder betingelser.