Måleområde for varm katodeioniseringsvakuummåler

Selvom måleområdet for varm katodeioniseringsvakuummåler kan nå 10-2~10-11mbar, vil forholdet mellem partikelflow og tryk afvige fra lineært og have tendens til mætning, når trykket er for højt. For at udvide måleområdet bruges Pirani vakuummåler normalt ved pumpens startpunkt (i tilfælde af for højt tryk).

Derudover er den nedre grænse for måling af almindelige varmkatodeioniseringsvakuummetre ca. 10-6Pa størrelsesorden: Når gateanoden bombarderes med elektroner, genereres bløde røntgenstråler, og fotoelektronemission forekommer, når ionen samleren modtager denne stråle. Da den foton, der udsendes af solfangeren, svarer til de ioner, den opsamler, dannes der en trykuafhængig baggrundsfotostrøm i ionkollektorkredsløbet, som er repræsenteret ved en trykaflæsning på ca. 10-6Pa, når den måles. For at eliminere effekten af ​​baggrundsfotostrøm og udvide målegrænsen for varmkatodeioniseringsvakuummåler, BA ioniseringsvakuummåler (målegrænsen kan nå 10-8Pa), undertrykkende vakuummåler (kan teoretisk nå {{6} }Pa), moduleret vakuummåler (10-10Pa), adskilt vakuummåler (10-11Pa) og så videre.

IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com