Overvågningsmetoder Til Vacuum Plating Udstyr
Jan 19, 2019| Overvågningsmetoder til vakuumbelægningsudstyr
IKS PVD, iks.pvd @ foxmail.com
Med udviklingen af basisindustrien og højteknologiske produkter udvides efterspørgslen efter høj kvalitet, høj effektivitet overflademodifikation og belægningsteknologi til dybden. I situationer med gensidig fremme af dette felt og beslægtede discipliner i ind-og udland har overflademodifikation og belægningsproces simulering og præstationspræstation og andre aspekter gjort gennembrud. Følgende er en introduktion til overvågningsmetoden for vakuumbelægningsudstyr:
1. Visuel overvågning: øjenovervågning anvendes. Under filmens vækst, på grund af farveændringen forårsaget af interferensfænomenet, styrer vi filmtykkelsen i henhold til farveændringen.
2, ekstrem overvågningsmetode: Når filmtykkelsen stiger, vil dens reflektivitet og indtrængningshastighed følge ændringen, når refleksiviteten eller gennemtrængningshastigheden til det ekstreme punkt kan vi vide, at belægningen optisk tykkelse ND overvåger bølgelængden (i) en fjerdedel af heltal flere. Imidlertid har metoden med ekstrem værdi en stor fejl, fordi når refleksiviteten eller transmittansen ændrer sig meget langsomt omkring den ekstreme værdi, så øges filmtykkelsen ND meget, R / T-ændringer. Den mere følsomme position er ved en ottendedel af bølgelængden.
3. Overvågningsmetode med fast værdi: Denne metode ANVENDER stoppladepunktet for ikke at overvåge kvartbølgelængden af bølgelængden, og computeren beregner derefter reflektiviteten af den samlede filmtykkelse ved en bestemt bølgelængde, hvilket er stopbelægningspunktet.
4. Krystaloscillationsovervågning: det virker på princippet om, at kvartskrystalets vibrationsfrekvens er omvendt proportional med dens masse. En af ulemperne ved kvartsovervågning er imidlertid, at når filmtykkelsen stiger til en vis tykkelse, er vibrationsfrekvensen ikke helt på grund af egenskaberne af kvarts i sig selv, hvilket fører til et kablet forhold mellem tykkelsen og frekvensen. I dette tilfælde skal der anvendes nye kvarts-oscillerende plader.