PECVD udstyr almindelige problemer-Lav aflejring rate
Jul 04, 2023| PECVD udstyr almindelige problemer-Lav aflejring rate
(1) Hvis RF-indgangseffekten er upassende, skal du justere RF-effekten.
(2) Hvis prøvetemperaturen er unormal, skal du kontrollere, om kølevandsflowet og temperaturen er normale.
(3) Vakuumkammertrykket er lavt, juster procesgasstrømmen.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com
←
Et par af: PECVD-radiofrekvenseffekt
Næste: PECVD-lufttryk
→
Send forespørgsel