PECVD-substrattemperatur
Jul 10, 2023| Indflydelsen af substrattemperatur på filmens kvalitet ligger hovedsageligt i den lokale tilstandsdensitet, elektronmobilitet og filmens optiske egenskaber. Forøgelsen af substrattemperaturen er gavnlig for kompensationen af suspensionsbindingen på filmens overflade, og filmens defekttæthed falder.
Substrattemperaturen har ringe effekt på aflejringshastigheden, men stor effekt på filmens kvalitet. Jo højere temperatur, jo større densitet af aflejringsfilmen, jo højere temperatur forbedrer overfladereaktionen og forbedrer filmens sammensætning.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com
