Forholdsregler ved køb af en vakuumpumpe

1. Det skal være klart, om vibrationen fra vakuumpumpen har effekt på processen og miljøet. Hvis processen ikke tillader det, skal du vælge en ikke-vibrerende pumpe eller tage anti-vibrationsforanstaltninger.

2. Forstå komponenterne i den gas, der pumpes. Såsom, om den pumpede gas indeholder kondenserbare dampe eller støvpartikler. Hvorvidt gassen er ætsende eller ej. Når du vælger en vakuumpumpe, skal du kende gassammensætningen og derefter vælge den rigtige pumpe i henhold til den pumpede gas. Hvis gassen indeholder dampe, partikler og ætsende gasser, skal der installeres ekstra udstyr såsom kondensatorer, støvopsamlere mv. På pumpens indløbsledning.

3. Vakuumpumpen skal kunne dræne al den gas, der genereres under vakuumudstyrsprocessen under dets arbejdstryk.

4. Den korrekte kombination af vakuumpumper. På grund af vakuumpumpens selektive pumpe kan en pumpe nogle gange ikke opfylde pumpens krav. Derfor er det nødvendigt at kombinere flere typer pumper for at opfylde pumpekravene ved at støtte hinanden.

For eksempel har titan-sublimeringspumpen en høj pumpehastighed for hydrogen, men den kan ikke pumpe helium, og en trepolet sputtering-ionpumpe (eller en bipolar asymmetrisk katodsputtering-ionpumpe) har en vis pumpes hastighed for argon. Den kombinerede af disse to pumper vil sikre vakuumanordningen en bedre grad af vakuum.

Derudover kan nogle vakuumpumper ikke arbejde under atmosfærisk tryk, og de kræver prævakuum; nogle vakuumpumper har lavere udløbstryk end atmosfærisk tryk og har brug for en bagpumpe, så de skal alle kombineres.

5. Støvsugningsudstyrs krav til olieforurening. Hvis udstyret absolut ikke kræver nogen olie, skal der anvendes forskellige oliefrie pumper, såsom vandringspumper, molekylsug adsorptionspumper, sputter ionpumper, kryogenpumper mv. Hvis kravene ikke er strenge, bør olpumper anvendes med nogle forebyggende foranstaltninger til forebyggelse af olieforurening, såsom koldt fælder, baffler og oliefælder ...

6. Vælg korrekt vakuumpumpeens arbejdssted. Hver pumpe har et arbejdstrykområde. Derfor bør pumpens driftspunkt vælges inden for dette område i stedet for at gøre pumpen langvarig ved 25 ~ 30mmHg.

7. Hvordan oliedampen fra vakuumpumpen påvirker miljøet. Hvis miljøet ikke tillader kontaminering, kan der vælges en oliefri vakuumpumpe, eller oliedampen kan udledes udendørs.

8. Vakuumpumpens arbejdstryk skal opfylde det maksimale vakuum- og arbejdstrykbehov i vakuumudstyret.

9. Vakuumpumpe pris, drift og vedligeholdelsesomkostninger.