Princippet for PVD-vakuumbelægningsteknologi

Apr 05, 2023|

Princippet for PVD vakuumbelægningsteknologi
Fysisk dampaflejring (PVD) refererer til fysisk dampaflejring, som består af vakuumdampaflejring, vakuumforstøvningsaflejring og vakuumionaflejring. Vi plejer at sige PVD-belægning, refererer til vakuumionbelægning og vakuumforstøvningsbelægning; Generelt refererer NCVM-belægning til vakuumfordampningsbelægning. Grundprincippet for vakuumfordampning: Under vakuumforhold fordampes metaller og metallegeringer og aflejres derefter på underlagets overflade. Fordampningsmetoden bruges almindeligvis ved modstandsopvarmning og elektronbombardement af pletteringsmaterialet for at fordampe til en gasfase og derefter aflejres på substratoverfladen. Historisk set er vakuumfordampning den tidligere teknologi, der blev brugt i PVD-processen. Det grundlæggende princip for sputtering af belægningsfilm: under vakuumtilstanden ved påfyldning af (Ar) gas, gasglødeudladning, derefter ioniseres argon (Ar) atomer til nitrogenion (Ar), ion under påvirkning af elektrisk feltkraft, accelererer bombardement til katodemål lavet af pletteringsmateriale, vil målet blive sputteret ud og aflejret på emnets overflade. Indfaldende ioner i forstøvningsbelægningsfilmen opnås generelt ved glødeudladning i området 10-2pa~10Pa, så de sputterede partikler er lette at kollidere med gasmolekyler i vakuumkammeret, når de flyver til substratet, således at bevægelsesretningen er tilfældig, og den aflejrede film er let at være ensartet. Grundprincippet for ionplettering: Under vakuumtilstand bruges en vis plasmaioniseringsteknologi til delvist at ionisere pletteringsatomerne til ioner og samtidig producere mange neutrale højenergiatomer for at tilføje negativ bias på det belagte substrat. På denne måde, under påvirkning af dyb negativ forspænding, blev ioner aflejret på substratoverfladen for at danne en tynd film.

20230315105929

IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com

Send forespørgsel