Hurtigdom af udledningsområde

1. Kontroller dækslet.

Kontroller om der er skader, urenheder eller støv. Hvis det er tilfældet, skal du tørre dørtætningen tæt og derefter anvende højvakuumfedtet jævnt.

2. Kontrollér, om bagpumpen er defekt.

Metoder:  

● Vær opmærksom på olievinduet på den mekaniske pumpe. Olieniveauet er højt, og olien vil blive sprayet, det lave olieniveau påvirker smøring, påvirker pumpens hastighed og forårsager skade på udstyret .

● Vær opmærksom på, om olien er klar. Hvis det er sort, viser det sig, at der er urenheder eller slid i pumpens hulrum; hvis farven på olien er hvid; det viser, at der er blandet køleolie, det vil påvirke smøring og tætning og påvirke pumpens hastighed, hvilket fører til pumpning af hurtig nedgang.

● Kontrollér magnetventilen på den mekaniske pumpe. Hold magtventilens indløb i hånden. Hvis der er luftindtag, er ventilen beskadiget, og den skal udskiftes.

● Mål den mekaniske pumpes præpumpetid. Under normale forhold kan vakuumgraden på 3-4 minutter pumpes til 10 Pa. Hvis pumpetiden er længere, betyder det, at den mekaniske pumpe får pumpens hastighed til at være langsom.

3. Kontroller diffusionspumpe og elektrisk ovn.

● Kontroller, om elkabinets temperatur er faldende, den elektriske ledning er intakt, og ovns temperatur er velegnet.

● Kontroller, om rammens hovedaksel er lækker, og vakuumet af sammensatte måler for at vurdere, om det lækker.

● Kontrollér vakuumventilen øverst i vakuumkammeret for at se, om der er lækage.

Hvis ingen af ovennævnte metoder har detekteret lækageområde, er det nødvendigt at tage acetone lækage detektion, sprøjte det område, hvor der kan være lækage, kontrollere lækage punkt og løse det i tide.