Valg og funktion Gas Tank og vedligeholdelsespumpe

På grund af diffusionspumpeens lange opstartstid og olieforstærkerpumpen i det periodisk betjente udstyr ved indlæsning og aflæsning for at forkorte arbejdstiden uden at afbryde diffusionspumpeens kraft og olieforstærkerpumpen , højvakuumventilen er før-rørledningens ventil er lukket for at gøre hovedpumpen i normal drift. Da ventilen altid har en meget lille mængde luftlækage og overfladedeflering, vil trykket ved hovedpumpens udgang stige over en periode. Hvis den overstiger det maksimale udløbstryk på hovedpumpen og vender tilbage til pumpen, vil oliedampen oxidere.

For at løse dette problem er en fremgangsmåde at bruge bagpumpen til fortsat at pumpe hovedpumpens udløbsgas, men på dette tidspunkt er mængden af gas, der udledes fra hovedpumpen, meget lille, og der er et fænomen, at bagpumpen er overkvalificeret og spilder meget energi. Så en anden metode kan bruges, stoppe bagpumpens arbejde, luk ventilen på forlinjen og indstil en vedligeholdelsespumpe eller gasbeholder ved hovedpumpens udgang, som kan sikre, at gassen i hovedpumpen kan være afladet og sparet energi. Gasbeholdere kan ikke være for store, det kan kun bruges på små systemer, der bruger diffusionspumpe som hovedpumpe, mens holdepumpen kan bruges på et stort hovedpumpesystem. En anden funktion af gaslagertanken er, at nogle mindre applikationsudstyr ikke tillader vibration i sin proces, det vil sige, at bagpumpen skal stoppes under processen, på dette tidspunkt anvendes gastanken til at opbevare gas udladet fra hovedpumpen sikre kvaliteten af det forarbejdede emne under processen.

Beregningen af gaslagertankens volumen til antivibrationsformål er baseret på den kendsgerning, at gasen, der udledes fra vakuumkammeret ved diffusionspumpen, er fuldstændigt afladet i gastanken, hvilket forårsager, at trykket i tanken øges uden mere end det maksimale udstødningstryk ved diffusionspumpens udløb.

Volumenet af gasopbevaringstanken med henblik på energibesparelse og forkortelse af arbejdstiden beregnes ud fra følgende overvejelser: Når bagpumpen holder op med at fungere, og diffusionspumpen stadig er i normal drift, udleder diffusionspumpen gasen til benzintank. Gaskilden på dette tidspunkt er lækstrømningshastigheden mellem højvakuumventilen ved diffusionspumpeens indløb og forløbsventilen ved diffusionspumpeens udløb, og overfladedekflationsflowet i intervallet. Disse strømninger medfører, at trykket ved diffusionspumpens udløb øges, men det kan ikke overstige diffusionspumpeens maksimale udstødningstryk.

Formålet med at bruge vedligeholdelsespumpen er at spare energi. Den er anbragt ved udløbet af oliedampstrømspumpen, generelt parallelt med mekanisk pumpe før trin. Det er den samme type pumpe som bagpumpen. Erfaring har vist, at vedligeholdelse af pumpens pumpehastighed kan være en tiendedel af pumpepumpens pumpehastighed. Ved hjælp af en vedligeholdelsespumpe kan du spare en masse energi og reducere miljøstøj.