Struktur og skematisk diagram af molekylpumpen

Kernekomponenterne i molekylpumpen er roterende knive og stationære knive (figur 1). Rotationshastigheden for det roterende blad når 1800 til 90000 omdr./min., Hastigheden ved knivspidsen når flere hundrede meter pr. Sekund, hvilket er tæt på molekylets gennemsnitlige hastighed. Og gasmolekyler transporteres til udstødningsporten ved kollision med den. Når det roterende blad, der er sat til at blive subtended, roterer med høj hastighed, er sandsynligheden for gasmolekylerne, som bevæger sig fra sugesiden til udstødningssiden, A, og sandsynligheden for, at gasmolekylerne bevæger sig fra udstødningssiden til sugesiden er B. Det roterende blad rammer gasmolekylerne, så gasmolekylerne rammer det faste blad og flyver til det næste roterende blad, til sidst udstråles gasmolekylet til udstødningsporten, hvilket gør A> B til at opnå udstødningsfunktionen.

Udstødningshastighed af molekylpumpen = Åbningsområde for sugesiden × 11,6 × A / Bp

I formlen henviser p til stigningsværdien af tryk.

Jo større af vinklen på bladet, jo højere af udstødningshastigheden er mindre af kompressionsforholdet. Hvis bladets vinkel er lille, er udstødningshastigheden lav, og kompressionsforholdet er stort. Udstødningshastigheden af molekylepumpen er næsten ikke påvirket af gastypen, og pumpens ultimative tryk kan være 10-8 Pa, men udstødningshastigheden reduceres for lette molekyler / atomer.

Som en slags mekanisk pumpe med høj rotationshastighed kræver molekylepumpen høj balance og den er meget skrøbelig til faste fremmedlegemer. Sædvanligvis installeres et metalfilter ved indløbet af det. Når molekylpumpen fungerer, kan knivene blive beskadiget, hvis trykket pludseligt forringes.

Fig. 1 Struktur og skematisk diagram af en molekylærpumpe

Konventionelle molekylpumper bruger lejer for at sikre blades højhastighedssvingning. Men den nye type molekylepumpe vedtager magnetisk levitationsstruktur, hvilket gør bladets hastighed kontinuerligt stigende, og samtidig er molekylpumpen mere egnet til det ultrahøjsugede system, og det forlænger også levetiden for den molekylær pumpe.

Sammenlignet med olieforseglede roterende skovlspumper og tørpumper af turbontype har molekylpumper et renere arbejdsmiljø, og det kan opnå ekstremt høje vakuumniveauer. Imidlertid kan molekylære pumper ikke fungere ved atmosfærisk tryk, og det skal anvendes i kombination med andre ru-out vakuumpumper (olietætnede rotationsvinge pumper eller turbo-tørre pumper), der kan fungere ved atmosfærisk tryk. Den molekylære pumpe har kompliceret struktur og høj pris, og der er vibrationer under højhastighedsrotation.