De bedste lækage-detektionsteknikker til PVD-belægningsmaskine

Boble Metode Detection

PVD belægning boblen metode detektion er foretrukket for PVD belægning beholdere eller indretninger, der behandles. PVD belægning boblen metode detektion betyder at fylde den testede del med en bestemt tryk lækage indikator gas, og derefter sætte den testede del i væsken. Gassen kommer ind i den omgivende væske gennem lækagehullet for at danne bobler. Og stedet hvor der er bobler er placeringen af lækagehul. Endvidere kan hullets lækagehastighed anslås i forhold til formationshastigheden og boblernes størrelse samt de fysiske egenskaber af lækageindikationsgassen.

Dækningsmetode Detektion

Cover Method Detection refererer til en metode, der dækker hele PVD belægningsenheden med en ethylen plastpose (dækning) og derefter påfyldning af posen med helium, det vil sige hele vakuumbeholderen nedsænkes i heliumet for lækagepåvisning. Efter helt evakuering af gassen skal hovedventilen, ru ventilen og lækageventilen slukkes. Og brug derefter en BA ioniseringsvakuummåler til at måle ændringen i trykstigningen for at afgøre, om der er lækage.

PVD-belægningen er summen af trykstigningen på grund af gaslækage og trykstigningen forårsaget af materialet afgassning, og endelig er det en lineær forøgelse, der er proportional med tiden. Når PVD-belægningskurven udviser en sådan tilstand som beskrevet ovenfor, betyder det at apparatet lækker. Når der ikke er lækage og kun materialets afgassning, skal kurven være mættet. Hvis der kun er lækage uden væsentlig afgassning, er det en lige linje, der er proportional med tiden i begyndelsen.