Drevsystemet og kølesystemet af PVD-belægningsudstyr

Drivsystem

Drevsystemet gør det muligt for substratet at strømme fra at sætte substrat ind i enheden til sputtering af deposition, for at komme ud af enheden efter afslutning af behandlingen. Drevsystemet består af drivmotor, rullehjul, frekvensomformer og så videre. Årsagerne til at tilføje drevsystemet er:

(1) Sørg for, at de ensartede tykkelsesbelægninger er bredt fordelt.

(2) Let at realisere automatiseret transmission.

Kølesystem

Kølesystemet er hovedsagelig sammensat af målcirkulerende vandmolekylpumpe, kammer, pumpegruppe og drivmotorens kølevand. Hovedfunktionen er at afkøle vakuumkammeret, pumpen, drevet, strømforsyningen osv. Kravene til kølevand er:

(1) Temperatur: 17-22 ° C;

(2) Tryk: 2 ~ 3e0.05Pa;

(3) De magnetiske partikler skal fjernes fra vand, og vandet skal blødgøres, pH = 6 ~ 8.