Udvindingshastigheden af metan ved ionpumpe
Sep 19, 2023| Udvindingshastigheden af metan ved ionpumpe
Metan er en af hovedårsagerne til dæmpningen af acceleratorstrålen. Som et produkt af reaktionen mellem brint og kulstof i metalliske materialer er metan en almindelig gaskilde i ultrahøjvakuumsystemer.
Selvom metan ikke er en inert gas, reagerer den ikke med nogen getter, og den reagerer heller ikke med katodematerialet, der sputteres i ionpumpen, så den almindelige bipolære ionpumpe har næsten ingen pumpehastighed for metan, svarende til processen med inert. gas, ønsker at pumpe metan, Vi var nødt til at begrave de mere effektive StarCell og Noble Diode ionpumper.
På grund af Penning-udledning i ionpumpen bliver metanmolekyler (såvel som andre kulbrintemolekyler) revnet og omdannet til mindre partikler (C, CH3,... H), som har større sandsynlighed for at blive "pumpet væk", og StarCell-ionpumpen vil pumpe endnu hurtigere for metan og lette kulbrinter, end den gør for nitrogen.
IKS PVD-virksomhed, dekorativ belægningsmaskine, værktøjsbelægningsmaskine, DLC-belægningsmaskine, optisk belægningsmaskine, PVD-vakuumbelægningslinje, det nøglefærdige projekt er tilgængeligt. Kontakt os nu, e-mail: iks.pvd@foxmail.com