Typisk vakuumsystem

Det system, der bruges til at opfylde visse proceskrav, som er i stand til at opnå og måle det specifikke nødvendige vakuum, kaldes vakuumsystem. Et mere komplet vakuumsystem består af vakuumkammer, påkrævet vakuumpumpe eller vakuumenhed, vakuummåler, forbindelsesledning, vakuumventil, fælde og andre vakuumkomponenter og elektrisk styringssystem. Typisk vakuumsystem er vist i fig. 1 og fig. 2.

1. Vakuumkammerblæseventil 2. Ioniseringsvakuummåler 3. Termokuglevakuummåler 4. Strømreguleringsventil

5. Højvakuumventil 6. Diffusionspumpe 7. Gasopbevaringstank

8. Termoelementmåler (måler diffusionspumpe fortryk) 9. Bagventil 10. Trykføler

11. Prepumpeventil 12. Roots vakuumpumpe 13. By-passventil 14. Elektromagnetisk blæseventil

15. Mekanisk vakuumpumpe

Fig. 1 Skematisk diagram af et typisk vakuumsystem

1. Vakuumkammer 2. Ioniseringsvakuummåler 3. Termokuglens vakuummåler 4. Deflation ventil

5. Højvakuumventil 6. Koldfælde 7. Diffusionspumpe 8. Bagventil 9. Elektromagnetisk blæseventil

10. Mekanisk vakuumpumpe 11 Prepumpeventil

Fig. 2 Skematisk diagram af et typisk vakuumsystem