Kompatible vakuummålere og regulatorer CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar

INTRODUKTION INFICON SKY CDG045D manometre er dit bedste valg til høj præcis total trykmåling og kontrol. CDG045D målere er temperaturstyret ved 45 ° C for bedre signalstabilitet og repeterbarhed. De er tilgængelige til fuld skala fra 50 mTorr til 1000 Torr, med ...

Send forespørgsel

Produkt introduktion

INTRODUKTION

INFICON SKY CDG045D manometre er dit bedste valg til høj præcis total trykmåling og -styring. CDG045D målere er temperaturstyret ved 45 ° C for bedre signalstabilitet og repeterbarhed. De er tilgængelige til fuld skala fra 50 mTorr til 1000 Torr, med alle almindelige flangetyper og fieldbus-grænseflader og giver et lineært 0 til 10 V, uafhængigt gasstypesignal. INFICON kapacitans manometre bruger en ultra ren aluminiumoxid keramisk membran, som er korrosionsbeskyttet. Fordelene ved den keramiske sensor er bedre signalstabilitet, hurtigere genopretning fra atmosfæren, kort opvarmning og en ekstraordinær levetid. INFICON CDG er højkvalitets, omkostningseffektive trykfølere til krævende vakuumanvendelser.

INFICON SKY CDG045D-kapacitansmembranmålerne er direkte udskiftninger til Oerlikon Leybold CTR 101-sendere. Få originalen fra manufacteren med global support og løsninger til alle applikationer.

FORDELE

◆ Fuldt kompatibel med CTR 101 transmittere

◆ Lavere CoO (ejeromkostninger), 50% hurtigere opvarmning, energieffektivt lavt strømforbrug

◆ Enkel integration, bred vifte af fulde skalaer, flanger og grænseflader, standard med to sætpunkter

◆ Nem en trykknap eller fjernbetjening nul kommando, nul forskydning justerbar

◆ Diagnostisk port til hurtig service og vedligeholdelse

◆ To års garanti, længere levetid med avanceret varmekoncept og målebeskyttelse

◆ Ingen langvarig omkalibrering på grund af fremragende signalstabilitet og repeterbarhed, selv i hårde plasmaprogrammer

◆ Overensstemmelse og standarder: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

TYPISKE ANVENDELSER

◆ Etch, CVD, PVD og andre halvlederproduktionsprocesser

◆ Kemiske og ætsende vakuumprocesser

◆ Generel tyndfilm og vakuumprocesser

◆ Reference sensor til overvågning af testinstrumenter i overensstemmelse med internationale standarder

◆ Overfør standard for sporbarhedsmålinger

SPECIFIKATION

Type		1000 torr, 1100 mbar	500 ... 1Torr / mbar	0,5 ... 0,05 Torr / mbar
Nøjagtighed	% af læsning	0,15	0,15	0,15
Temperatur effekt
på nul	procent FS / ° C	0,0025	0,0025	0,0025
på span	% af læsning / ° C	0,01	0,01	0,01
Løsning	procent FS	0.003	0.003	0.003
Tryk, maks.	kPa (absolut)	400	260	130
Laveste læsning	procent FS	0,01	0,01	0,01
Laveste foreslået læsning	procent FS	0,05	0,05	0,05
Laveste foreslået kontroltryk	procent FS	0,5	0,5	0,5
Temperatur
Operation (omgivende)	° C	+10 ... +40	+10 ... +40	+10 ... +40
Bakeout ved flange	° C	≤110	≤110	≤110
Opbevaring	° C	-20 ... +65	-20 ... +65	-20 ... +65
Forsyningsspænding		+14 ... +30 VDC eller ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC eller ± 15 V (± 5%)	+14 ... +30 VDC eller ± 15 V (± 5%)
Strømforbrug
Under opvarmning	W	≤12	≤12	≤12
Ved driftstemperatur	W	≤8	≤8	≤8
Udgangssignal (analog)	V (dc)	0 ... +10	0 ... +10	0 ... +10
Responstid	Frk	30	30	130/30
Beskyttelsesgrad		IP 40	IP 40	IP 40
standarder
CE overensstemmelse		EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS	EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS
ETL certificering		UL 61010-1, CSA 22,2 nr. 61010-1	UL 61010-1, CSA 22,2 nr. 61010-1	UL 61010-1, CSA 22,2 nr. 61010-1
SEMI overholdelse		SEMI S2	SEMI S2	SEMI S2
Elektrisk tilslutning		D-sub, 15 pol, han	D-sub, 15 pol, han	D-sub, 15 pol, han
Setpunkt
Antal sætpunkter		2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)	2 (SP1, SP2)
Relækontakt	V (dc)	≤30	≤30	≤30
Hysterese	procent FS	1	1	1
Diagnostisk port
protokol		RS232-C	RS232-C	RS232-C
Læs		tryk, status, id	tryk, status, id	tryk, status, id
Sæt		sæt punkter, filter, nul juster, fabriks nulstilling, DC-forskydning	sæt punkter, filter, nul juster, fabriks nulstilling, DC-forskydning	sæt punkter, filter, nul juster, fabriks nulstilling, DC-forskydning
Materialer udsat for vakuum		luminiumoxid keramik (AI2O3), stainles s stål (AISI 316L)	luminiumoxid keramik (AI 2 O 3 ), rustfrit stål (AISI 316L )	luminiumoxid keramik (AI 2 O 3 ), rustfrit stål (AISI 316L )
Internt volumen
1/2 "rør	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)
8 VCR®	cm³ (in.³)	4,2 (0,26)

Populære tags: kompatible vakuummålere og controllere cdg045d 0.05 ~ 1000torr / mbar, Kina, producenter, leverandører, køb, tilpasset, lavet i Kina

← Et par af: VGC50x vakuummåleregulator

Næste: Kompatible vakuummålere og regulatorer CDG025D 0,1 ~ 1000 Torr / mbar →

Send forespørgsel

Du kan også lide