Generel Masseflow Controller - MKS 1179C
1179C er en generel strømflow controller beregnet til at måle og styre strømmen af gasser i en bred vifte af applikationer. 1179 massestrøm controllere er tilgængelige med fuldskalaer fra 10 sccm til 20 slm, hvilket giver hurtig, gentagelig strømstyring til så lavt som ...
- Produkt introduktion
INTRODUKTION
1179C er en generel strømflow controller beregnet til at måle og styre strømmen af gasser i en bred vifte af applikationer. 1179 massestrøm controllere er tilgængelige med fuldskalaer fra 10 sccm til 20 slm, hvilket giver hurtig, gentagelig strømstyring til så lavt som 0,2 sccm. Den kan også bruges som en trykregulator, når den tilsluttes en passende tryktransducer.
1179C er en direkte form-fit-funktion erstatning for de mest almindelige MFC'er på markedet i dag. Den standard 3-tommer fodspor gør det muligt for 1179C at falde direkte ind i det samme rum uden at ændre eksisterende gaslinjer. Elektriske stikkontakter er de samme Type "D" -stik, med samme pin-outs, signaler og fungerer som deres industrielle modparter, så der er ikke brug for kabel- eller stikforbindelse. 1179C er kompatibel med MFC strømforsyning og display elektronik fra MKS eller andre producenter.
FUNKTIONER & FORDELE
◆ Patenteret 1 sensor design giver enestående nul stabilitet
◆ Fuldskalaflow varierer fra 10 sccm til 20 slm til præcis og gentagelig flowmåling og -styring
◆ Procent af fuldskala nøjagtighed for analoge konfigurationer
◆ Hurtig opvarmningstid minimerer dyrt produktionsstop
◆ Kompatibel med tidligere MKS MFC og strømforsyning / udlæsningsmoduler
◆ Rigorisk design og test omfatter MTBF analyse og STRIFE test for at sikre langsigtet ydeevne
◆ Overfladebehandling af befugtede rustfrie overflader, behandling af renrum og minimal anvendelse af elastomertætninger gør det muligt at bruge i krævende rene processer
◆ To års garanti sikrer kvalitet og kundetilfredshed
STRUKTUR
Et tværsnit af en 1179C Mass-Flo Controller
Flow Nøjagtighed og Repeatability
Ovennævnte graf viser den typiske strømningsnøjagtighed og repeterbarhed af analoge MFC'er i 1179C-familien. Målinger blev foretaget ved anvendelse af MKS Instruments Califlow ® Primær Standard Flow Calibrator over en 10 dages periode.
Nul stabilitet
Ovennævnte graf viser den fremragende nul- og spændstabilitet af 1179C-sensoren, der anvendes i 1179-familien. Instrumenterne blev tændt og tilfældigt testet for nul- og spændingsdrift over en 19 måneders periode.
SPECIFIKATION
| Fuldskalaer (N 2 ækvivalent) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Maks. Indløbstryk | 150 psig | |
Normal driftstryk Differential (med atmosfæriske tryk på MFC-stikkontakten) | 10 til 5000 sccm | 10 til 40 psid |
| 10000 til 30000 sccm | 15 til 40 psid | |
| Kontrolområde | 2% til 100% af FS | |
Nøjagtighed (analog) (inklusiv ikke-linearitet, hysterese og ikke-repeterbarhed henvist til 760 mmHg og 0 ° C) | ± 1,0% af FS | |
| Reproducerbarhed | ± 0,2% af FS | |
| Løsning | 0,1% af FS | |
| Temperaturkoefficienter | Nul | <0,05% fs="" °=""> |
| span | <0,08% af="" rdg./=""> | |
| Opvarmningstid (til inden for 0,2% af FS i stabil tilstand) | <2> | |
| Controller Settling Time (per SEMI Guideline E17-91) | <2> | |
| Trykkoefficient | <0,02% af=""> | |
| Normal driftstemperaturområde | 0 ° C til 50 ° C | |
| Indgangsspænding påkrævet | Maks. nuværende ved opstart (første 2 sek) | ± 15 VDC (± 5%) @ 200 mA |
| Typisk strøm ved steady state | ± 15 VDC (± 5%) @ 100 mA | |
| Set Point Command Signal | 0 til 5 VDC fra <20k> | |
| Output Signal | 0 til 5 VDC til> 10K Ω | |
| Output Impedance | <1> | |
Connector Typer Analog | 9-pin eller 15-pin type "D" (Den 15-polede type "D" -stik er elektronisk kompatibel med andre MKS flow controllere. Consult Application Engineering for detaljer.) | |
| Wetted Materials | Standard | 316L SS, Viton®, nikkel |
| Valgfri (sæler og ventilsæde) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez® | |
| Læk integritet | Ekstern (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| Gennem lukket ventil | <1,0% fs="" ved="" 40="" psig="" indløb="" til=""> e (For at sikre ingen gennemstrømning anbefales en separat positiv afstoppningsventil.) | |
| Fittings (kompatibel med) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| Overholdelse | CE | |
DIMENSIONAL TEGNING
Bemærk: Medmindre andet er angivet, er dimensioner nominelle værdier i inches (mm refereret).
Populære tags: generelle formål massestrøm controller - mks 1179c, Kina, producenter, leverandører, køb, tilpasset, lavet i Kina
