Grundlæggende trin i vakuum PVD-belægningsproces
Apr 11, 2018| Forbehandling proces
Dekoering, sprængning, polering, passivering, rengøring, fastspænding
Coating proces
Evakuering, opvarmning, lækage test, bombardement rengøring, belægning, udkøling
Efterbehandling
1. Rengøring: Sørg for, at overfladen af produktet før belægningen er ren, renseren overfladen, jo bedre belægningskvaliteten kan garanteres.
2. Evakuering: Evakueret restgas fra vakuumkammeret.
3. Opvarmning: Ovnen og emnet opvarmes samtidigt for at fremskynde frigivelsen af restgas.
4. Spændingsstigningstest: Gasudsliphastighed og gasfrigøringshastighed for testovnen.
5. Rengøring af bombardement: Fjern urenheder fra overfladen af emnet for at udsætte den rene overflade.
6. Coating: Deponeret film.
7. Afkøling: Undgå oxidation og misfarvning af emnet.
Hvorfor køle det?
Efter at belægningsprocessen er afsluttet, er temperaturen af vakuumkammeret op til 500 ° C. Hvis det evakueres uden afkøling, bliver overfladen af det højtemperaturarbejdsstykke, der ikke er plettet, blåt på grund af reaktionen med luften.
Hvordan køler man?
1. For at lukke højventilen og vakuummåleren, og vakuumkammeret er adskilt fra pumpegruppen.
2. Når operatøren trykker på N 2 udluftningsknappen, bliver det forbundne kvælstof fyldt ind i vakuumkammeret gennem N 2- inflationsventilen, og når trykket i vakuumkammeret når presstrykket på trykafbryderen, vil N 2 inflationsventilen er lukket.
3. Vakuumkammeret er fyldt med en stor mængde N2, og vakuumgraden er meget lav, hvilket er mere befordrende for varmeledning. Det kan forkorte køletiden og øge produktionseffektiviteten, og den faktiske køletid kan reduceres fra 90 minutter til 60 minutter.
4. Fordi helium har højere termisk ledningsevne er køling af helium hurtigere end nitrogen, men prisen er højere.
5. Det hurtige køleprogram for udenlandsk udstyr kan forkorte køletiden med 50% ved at afkøle gasens kølecyklus.
Årsagerne til trykstigningstesten
Vakuummiljø er den vigtigste faktor, der påvirker den endelige belægningskvalitet. Før belægningen skal trykstigningshastigheden udføres for at sikre, at vakuummiljøforholdene overholder overtræksstandarden.