Karakterisering af vakuumgrad, enhed og opdeling af vakuumområde

Karakterisering af vakuumgrad, enhed og opdeling af vakuumområde

IKS PVD, vi fremstiller PVD vakuum belægning udstyr, kontakt os nu, iks.pvd @ foxmail.come

Det er ikke meget rimeligt at bruge tryk til at repræsentere vakuumgrad, som er blevet brugt i målevakuumets historie ved hjælp af u-type manometer.

I almindelighed vakuumsystem anvendes den hydrostatiske fysiske mængde af isotropisk neutralt gastryk sædvanligvis til at udtrykke vakuumgraden. Derfor kommer måling af vakuumgrad kun ned til måling af tryk. Der skal dog lægges særlig vægt på målebetingelserne, som er den stationære (tilfældige bevægelse), steady state og isotropisk enkelt neutral gas i en begrænset beholder. I dette tilfælde er makswell hastighedsfordeling, cosinus spredningslov og hydrostatisk trykkoncept (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = pgh ) relativt i overensstemmelse med den objektive virkelighed, vakuumgradsmåling er forholdsvis enkel og nem.

Ifølge definitionen af vakuumgrad er det bedre at udtrykke vakuumgraden ved molekylær densitet n, og det er ikke modstridende at udtrykke vakuumgraden ved tryk. Når trykket måles, er gassen generelt i en ligevægtstilstand og opfylder maxwells hastighedsfordelingslov, det vil sige p = nkT er sandt. Temperaturen af gassen er konstant ved målingstidspunktet, så gasets tryk er proportional med den molekylære densitet n. Med andre ord er trykket et mål for molekylvægt, så vakuumet kan udtrykkes som tryk.

I rumforskning er forskningsobjektet det uendelige rums bevægelse (1 ~ 10 KMS - 1 eller højere) og under virkningen af kompleks ustabil, integreret miljøatmosfære er Max hastighedsfordelingsloven og cosinus spredningsloven ikke nødvendigvis også mistede den oprindelige fysiske betydning, så trykket i vakuummåling er mere komplekst og vanskeligt.

Generelt er det populært og bruges til at udtrykke vakuumgrad ved tryk, men det er ikke det eneste. Følgende parametre kan også bruges til at udtrykke vakuumgrad:

Når vakuumgraden er meget høj, det vil sige, når molekylvægt er meget lille, er den statistiske udsving meget åbenlyst. For eksempel, når trykket p = 10-12pa er den statistiske udsving større end 5 gange 10-2, og trykket har mistet sin reelle betydning. Således er trykket i nogle tilfælde kun en relativ indikator for andre mængder .

1. Spørgsmål & Svar

Vakuum enheder?

Trykket af en gas defineret ved kollisionen af et gasmolekyle på en overflade er hastigheden af tidsændring af den vertikale komponent af momentum i et gasmolekyle, der kolliderer med et enhedsoverfladeareal, dvs. den modtagne kraft pr. Arealareal i Pascal eller Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

I engineering, sommetider er værdien af pa for lille, kPa og MPa bruges ofte til at udtrykke tryk. Lavt vakuum, undertiden udtrykt som "vakuumprocent", såsom vandring vakuumpumpe, reciprokerende vakuumpumpe og straight air roots vakuumpumpe ofte udtrykt i denne enhed vakuum. Når trykket p> 102Pa er vakuumprocenten delta.

Hvor: p0 - standard atmosfæretryk, Pa

Vakuum zonering

Med en enhed til måling af vakuumgraden kan vakuumgraden udtrykkes kvantitativt. Imidlertid har tryksområdet, der er involveret i vakuumteknologi, nået 20 størrelsesordener for at lette anvendelsen, nogle gange er det kun nødvendigt at grove pege på den generelle rækkevidde af vakuumgrad, sædvanligvis kvalitativt opdelt i flere regioner groft vakuum . De fysiske egenskaber ved gasmolekylær bevægelse i vakuum tilstand og det effektive arbejdsområde for vakuumpumpe og vakuummåler betragtes som basis for fordelingen af regioner.

Hvad angår opdelingen af vakuumområder i Kina, fastsættes vilkårene for vakuumteknologi (gb3163-1982) som følger:

Groft vakuum, lavt vakuum og højvakuum er opdelt i henhold til den gennemsnitlige fri vej af gasmolekyler sammenlignet med beholderens karakteristiske størrelse d. Hovedvægten er, om kollisionen mellem gasmolekyler eller kollisionen mellem gasmolekyler og enhedens væg spiller en afgørende rolle i forekomsten af fysiske fænomener.

Grænsen mellem højvakuum og ultrahøjt vakuum er sat som 10-6Pa. Hovedårsagen er at overveje vakuum fysisk adsorptionsmekanisme. Først når trykket p <10-6pa er="" indlysende,="" kan="" det="" fås="" ved="" hjælp="" af="" diffusionspumpen="" til="" udvinding,="" og="" trykket="" måles="" af="" ba=""> Hvad angår grænsen mellem ultrahøjt vakuum og ultrahøjt vakuum skyldes det, at statistisk udsving (større end 5 * 10-2) opstår, når p <10-12>

Ovennævnte vakuumregioner er opdelt i regioner, der repræsenterer et trykområde, af den grund, at tryk stadig udtrykkes i grader. I et lavt vakuum, et højt vakuum, et meget højt vakuum og et meget højt vakuum er det omtalte tryk imidlertid væsentligt anderledes, kun en relativ indikation af andre mængder.

De fysiske egenskaber ved vakuum, vakuumpumpe og vakuummåler, der anvendes i hver region, er beskrevet i tabel 1.

Med udviklingen af vakuumteknologi er divisionen af vakuumområder også ændret.