Indre Stress og måling af PVD vakuum belægning

1. stress Introduktion

Når objektet er deforme ydre årsag (stress, fugtighed mv.), interne styrker samspil mellem dele af objektet til at modstå virkningerne af denne eksterne faktor, og gendanne objektet fra positionen efter deformation position før deformation. Den indre kraft i området i et punkt i tværsnit kaldes stress. Den normale stress er vinkelret på tværsnit, og shear stress er tangent til tværsnit. Stress vil stige som eksterne kræfter øge. Der er en grænse for væksten af stress for et bestemt materiale, og over denne grænse, vil materialet blive ødelagt.

For nogle materialer, stress kan nå denne grænse kaldes den ultimative stress af materialer. Den ultimative stress værdi bestemmes af den mekaniske test af materialet. Den målte kraft skal være hensigtsmæssige for at nedbringe grænsen, maksimalt stress et materiale i stand til en forudbestemt sikkerhed, som er den tilladte stress. Hvis materialet skal anvendes sikkert, stress inden for det bør brug være lavere end dens grænse stress, ellers materialet vil blive beskadiget, når det anvendes.

Der er en slags stress kaldet indre stress, det vil sige, når der er ingen ydre kraft, den interne stress i objektet er den indre stress. Og der er indre stress i PVD belægning. Beskadigelse af indre stress er meget stort, så størrelsen og graden af indre stress bør håndteres godt i produktion. Den vigtigste brug af PVD-belægninger er som slidstærke beskyttende belægning, der kræver en vis tykkelse og levetid, men den interne stress i belægningen begrænser tykkelsen af belægningen.  Overstiger den elastiske energi af rumfanget produceret af den interne stress fraktur energi pr. arealenhed, vil belægningen falde ud, så tykkelsen af den deponerede belægning er begrænset. I almindelighed interne stress modulus af elasticitet og hårdhed af belægningen er proportional med hinanden. Derfor, under produktionsprocessen, belægning, især den interne stress, stress bør kontrolleres af fysiske damp deposition proces. Efter belægning, bør den interne stress af belægningen registreres, således at det kan accepteres inden for det acceptable interval.

2. metoden stresstest

(1) X-ray og elektron diffraktion

Når belægningen er i stress tilstand, gitter vil fordreje samt gitter konstant vil blive ændret. Derfor kan ændringen af diffraktion linjebredden af konstanten gitter måles ved røntgen og elektron diffraktion. Stress af belægningen kan beregnes ud fra en bestemt formel.

(2) modellen deformation analyse

Ene ende af en meget tynd rektangulær glas stykke er fastsat i vakuumkammer af apparatet belægning og derefter belagt på en overflade af arket. Belægning stress forårsager deformation af den frie ende af arket, og arket er målt med et teleobjektiv måling mikroskop. Mængden af forskydning på den frie ende er derefter beregnes baseret på mekanisk formel af materialet.

(3) den optiske interferometri

Ved hjælp af optisk interferometri for at måle belægning stress indblanding frynser dannet mellem standard plade og ikke belagt substrat i interferometeret, og derefter belagt på underlaget på grund af belægning stress effekten, substrat overflade deformation, derefter måling af interferens frynser dannet mellem standard plade og belagt substrat i interferometer, baseret på interferens frynser ændringer, beregne belægning stress ved hjælp af formler af materielle mekanik.

For mere end et årti,IKSspecialiseret i alle slags vakuum belægning udstyr manufacturing, dedikeret til forskning og udvikling og produktion af vakuum belægning maskine, med den nyeste teknologi producerer opfylde konstant markedets behov af vakuum belægning udstyr , giver vores kunder med skræddersyede teknologiløsninger og udstyr