Indfør af Mass flow Controller
Jan 31, 2018| Masseflowcontroller (MFC) anvendes til præcis måling og styring af massestrømningshastighed for gas. Det er normalt sammensat af flow sensor, flow kontrol ventil, forstærker kontrol kredsløb og shunt kontrol kanal. Dens arbejdsstrømforsyning og flowdisplay og indstillingsoperationer ved hjælp af strømforsyningen til strømmen.
Brug og funktioner
MFC spiller en vigtig rolle inden for videnskabelig forskning og produktion på mange områder som halvleder mikroelektronik industri, specialmateriale udvikling, kemisk industri, olieindustrien, medicin, miljøbeskyttelse og vakuum.
De typiske anvendelser omfatter: Elektronisk procesudstyr såsom diffusion, oxidation, epitaxy, CVD, plasma-ætsning, forstøvning, ionimplantation; og vakuumbelægningsudstyr, gaschromatografer og andre analytiske instrumenter.
Massestrømstyring og massestrømmåler med høj nøjagtighed, god repeterbarhed, hurtig reaktionshastighed, blød start, stabilt og pålideligt arbejdstrykområde (som kan arbejde under højtryks- eller vakuumforhold), operationen er nem at bruge. MFC kan installeres i enhver position, og er forbundet med computeren for at realisere automatisk kontrol.
Flowmeteret er generelt opdelt i følgende typer:
1. Volumetrisk flowmåler
Den bruger det mekaniske måleelement til kontinuerligt at opdele væsken i en enkelt kendt volumendel. Volumenstrømmen af væsken måles i overensstemmelse med antallet af gange af volumenet af væske fyldt og udladet efter hinanden efter hinanden fra målekammeret.
2. Flowmåler (rotor flowmåler)
Float flowmåleren er en slags variabelt område flowmåler, i en lodret kegle fra op til ned, understøttes den flydende tyngdekrafts cirkulære tværsnit af væskekraften, så flyden kan være fri i keglen. Stig og falde.
3. Differenstryk-flowmåler
Den er baseret på differenstryk produceret af strømningsdetektoren installeret i røret, tilstanden af den kendte væske og måleren til at beregne strømmen mellem røret og røret.
4. Vortex gade flowmeter (VSF)
Den ikke-strømlinjeformede hvirvelgenerator er anbragt i væsken, og væsken adskilles skiftevis på begge sider af genereringskroppen for at frigive to serier af regelmæssigt interlaced vortexinstrumenter.
5. Turbine flowmeter
Det er den vigtigste type hastigheds flowmeter. Den bruger multi blad rotoren (turbine) til at bestemme gennemsnitshastigheden af væske, og diverger instrumentet af strømningsvolumen eller total mængde.
6. Ultralyd flowmeter
Det er måling af flow ved at måle effekten af væskestrøm på ultralydstrålen (eller ultralydspuls).
7. Elektromagnetisk flowmåler
Den elektromagnetiske flowmåler er en slags instrument til måling af væskens konduktivitet ifølge Faradays elektromagnetiske induktionskode.
8. Termisk massestrømmåler
Sensoren til termisk flowmåler indeholder to føleelementer, en hastighedsføler og en temperatursensor. De kan automatisk kompensere og kalibrere temperaturændringen af gassen. Instrumentets elektriske varmeelement opvarmede hastighedsføleren til en bestemt værdi højere end temperaturen i arbejdstilstanden, således at der blev dannet en konstant temperaturforskel mellem hastighedsføleren og sensoren ved arbejdstemperatur. Når temperaturforskellen holdes konstant, er energiforbruget ved elektrisk opvarmning proportional med massestrømmen af gasstrømmen og er egnet til måling af en enkelt gas og fast andel af multikomponentgas.
