Indførelsen af metoden Operation af vakuum belægning maskine

Vakuum belægning maskine er en belægning instrument, der skal fungere på et højere vakuum. Det er opdelt i to typer af fordampning og sputtering.

Fordampning belægning proces er generelt varmen målrette materiale, der forårsager de overflade komponenter i målet materiale at være fordampet ved atomic eller ion form, og deponeret på substrat overflade, danner den tynde film gennem processen med film dannelse.

Spruttende belægning simpelthen kan forstås som brugen af elektroner eller højenergi laser til bombardement målet og gøre overfladen komponenterne i målet være sputtering i form af atomer eller ioner, og til sidst deponeret på overfladen af substrat, danner den tynde film gennem processen med filmen dannelse.

Brug trin:

1. drift metode til elektromekaniske styreskabet vakuum belægning

(1) åbne vand pumpe og luft kilde.

(2) Drej på den vigtigste magt.

(3) åbne strømforsyning af bedriften pumpe og vakuum meter, vakuum gauge holdning V1 position, vente på dens værdi mindre end 10, og derefter indtaste den næste operation. Sandsynligvis brug for fem minutter.

(4) aktivere den mekaniske pumpe, udføre pre pumpning, åbne strømforsyning turbo molekylære pumpe og starte den molekylære pumpe. Parameteren vakuum gauge er ændret til placeringen af V2. Efter den vakuum grad pumpes til mindre end 2, stoppe med at pumpe, og det vil tage 20 minutter.

(5) når aflæsningerne af turbine molekylære pumpe er observeret for at nå 250, pre pumpe er lukket, derefter åbne støtter pump og høje vakuum ventiler fortsat at evakuere. Kun når vakuum når 2 × 10-3, kan være aktiveret strømforsyning af elektronisk pistol.

2. drift af vakuum belægning maskine

(1) slå den vigtigste magt.

(2) på samme tid åbner den elektroniske pistol kontrol I og II strømforsyning: ifølge den elektroniske pistol kontrol jeg magt, forsinkelse switch, og derefter forsinkelse lys, magt lampe og beskyttelse lys, lys op. Efter tre minutters forsinkelse lys og beskyttelse lampe slukke. Hvis bagdøren ikke er lukket eller flow relæet er defekt, vil beskyttelse lys altid være på.

(3) åbner det høje tryk, højtryk vil nå mere end 10KV, justere stråle til om 200mA, gitteret skjold er 20V / 100mA, glødetråd nuværende 1.2A, den nuværende afbøjning svinge 1 ~ 1.7.

3. lukningssekvensen vakuum belægning maskine

(1) slå gauge outfit og molekylær pumpe.

(2) når den molekylære pumpe viser op til 50, højt vakuum ventilen, støtter pump og mekaniske pumpe er lukket i rækkefølge. Sandsynligvis behov 40 minutter.

(3) når den molekylære pumpe viser mindre end 50, lukke bedriften pumpe.