Del af belægning udstyr

Moderne belægning udstyr består hovedsageligt af vakuumkammer, vakuum erhvervelse del, vakuum måling del, power supply del, proces gas input system, mekanisk transmission led, varme og temperatur måling enhed, ionisk fordampning eller sputtering kilde og vand kølesystem.

1. vakuumkammer

Belægning udstyr har hovedsageligt løbende belægning produktionslinje og enkelt-kammer belægning maskine i to former, på grund af skimmel belægning har højere krav til varmen og mekanisk transmission dele og skimmel form, størrelse varierer meget, kontinuerlig belægning produktionslinje er som regel vanskeligt at opfylde kravene til at blive brugt enkelt-kammer belægning maskine.

2. vakuum erhvervelse del

På grund af kravene til høj vedhæftning af belægning af mug dele, belægning proces før baggrunden vakuum er helst højere end 6mPa, og vakuum graden kan nå 0.06mPa eller mere efter overfladebehandling er proces afsluttet, således at vakuum, der er markeret korrekt er for at opnå høj grad af vakuum afgørende.

Indtil nu er der ikke en slags pumpe, der kan arbejde fra atmosfærisk tryk til tæt på ultra høj vakuum. Derfor, erhvervelse af vakuum er ikke et vakuum udstyr og metode kan opnås, det skal kombineres med flere pumper, som mekanisk pumpe, Molekylær pumpesystem, osv.

3. vakuum måling del

Vakuum måling del af vakuum-system er til at måle trykket i vakuum kammer. Ligesom en vakuumpumpe, ingen vakuum meter kan måle hele spektret af vakuum og mange slags vakuum målere er lavet efter forskellige principper og krav.

4. power supply del

Target strømforsyning omfatter hovedsagelig DC strømforsyning og mellemliggende frekvens strømforsyning; emnet, selv har normalt brug for DC strømforsyning, pulse strømforsyning eller radiofrekvens strømforsyning.

5. process gas input system

Processen gas, såsom argon (Ar), krypton (Kr), nitrogen (N₂), acetylen (C₂H₂), methan (CH₄), brint (H₂) og ilt (O₂), generelt er leveret af gasflaske, og derefter passere ind i vakuum salen gennem den gas pres for at reducere valve, globe ventil, rør, gas flowmeter, piezoelektriske ventil, magnetventil.

Fordelen ved denne gas input system er rørledningen simple, let og nemt at reparere eller udskifte cylinderen. Hver belægning maskine påvirker ikke hinanden, og der er også en række belægning maskiner deling af en gruppe af flasker, der kan anvendes i nogle større belægning workshops. Det har fordele af at reducere mængden af gasflaske, fælles planlægning, fælles layout og Ulempen er, at chancen for gas lækage er øget på grund af forhøjelsen af fælles.

Hver belægning maskine vil blande sig med hinanden, og udsivning af en belægning maskine kan påvirke kvaliteten af de andre maskiner, belægning. Desuden, når du erstatter cylinderen, skal sikre, at alle de vigtigste enheder ikke anvendes.

6. mekanisk transmission del

Værktøj belægning kræver ensartet tykkelse rundt, så der skal være tre rotationer i belægning proces at opfylde kravene. Det vil sige, mens tabellen store emnet er forpligtet til at rotere, tabellen lille emnet også roterer, og emnet, selv kan rotere på samme tid. I mekanisk design, den centrale del af pladespilleren er normalt en stor aktive redskaber, som er omgivet af nogle små stjerne hjulet, og derefter gaflen bruges til at rotere tilførselsanordning til at rotere.

7. varme og temperatur måling enhed

Når mug belægning proces at sikre belægning emnet opvarmes ensartet er langt vigtigere end varme dekorativ overfladebehandling. Skimmel belægning udstyr generelt har to varmelegeme, termoelement temperaturmåling og kontrol. På grund af termoelement armaturet for forskellige indstillinger, kan ikke temperaturmålinger være den sande temperatur af emnet. For at måle den sande temperatur af emnet, kan den overflade termometer (overflade Thermomeer) bruges. Princippet om termometeret er at når termometeret er opvarmet, bunden af foråret opvarmes for at udvide, så markøren for at fremme den placerer markøren rotation indtil den maksimale temperatur. Når køling, foråret krymper og markøren roterer omvendt, men placerer markøren forbliver på den højeste temperatur og temperaturen af markøren er læst efter åbningen af vakuumkammer døren når den vakuumkammer opvarmes, placeringen af overflade termometeret har nået den højeste Temperaturværdi.

8. Ionic fordampning eller spruttende kilde

Fordampning kilde multi arc plating er normalt cirkulære, almindeligvis kendt som runde kage mål, i de seneste år har der været mange rektangulære multi arc mål, men ingen indlysende effekt. Runde kage målet er monteret på kobber target sæde (katode sæde), som begge er forbundet af ribben. Target sædet er udstyret med en magnet, ved at flytte magneten frem og tilbage, ændre den magnetisk feltstyrke, justerbar arc spot bevæger sig hastighed og bane. For at reducere temperaturen i målet og målet indehaveren, bør kølevandet løbende leveret til indehaveren af målet. For at sikre høj ledningsevne og varmeledningsevne mellem målet og målet indehaveren, kan tin (Sn) pakningen tilføjes mellem målet og målet.

9. vandkølingssystem

For at øge ionisering af metal-atomer, hver katode mål er output på en stor magt og skal derfor være tilstrækkelig afkølet. Mange slags skimmelsvamp belægning, opvarmning temperatur er 400 ~ 500℃, derfor på væggen vakuumkammer forsegling overflade køling er også meget vigtigt, så kølevandet bruges bedst i vand køler ca 18 ~ 20℃.

Efter døren blev åbnet, for at undgå lav temperatur vakuumkammer væg, katode mål og varm luft kontakt udfældning af vand, åbne døren i de første 10 minutter, kølesystemet skal skifte til tilstanden af varmt vand, varmt vandtemperatur er omkring 40 ~ 45℃.