Forholdsregler for kalibrering af ioniseringsvakuummåler

Vakuummåleren kan opdeles i en absolut vakuummåler og en relativ vakuummåler ifølge dens måleegenskaber. En absolut vakuummåler er en vakuummåler, der bestemmer trykket ved at måle den fysiske mængde selv. For eksempel er U-type trykmåler, kompressionstype vakuummåler det absolutte vakuummåler. Vakuummåleren, som bestemmer trykket ved at måle en fysisk mængde, der er relateret til tryk og sammenligne den med et absolut vakuummåler, kaldes en relativ vakuummåler. Joniseringsvakuummåleren og kapacitansfilmvakuummåleren, varmeledningsvakuummåleren, som alle er de relative vakuummålere.

Strukturen af ioniseringsmåleren er en cylindrisk triode med tre elektroder: katodeemitterende, gate-accelererende elektron, samlingen af polaropsamlingsioner. Den generelle katode er plus nulpotentiale, gitteret er plus det positive potentiale, og samleren er plus negativt potentiale.

M ainly fordele :

• Mål det samlede tryk på gas og damp.

• Hurtigt svar, kontinuerlig aflæsning og fjernbetjening.

• Bredt måleområde, god linearitet og høj målingsnøjagtighed.

Ulemper:

• Når trykket er højere end 10 ^-1 pa, det er let at oxidere filamentet, og når systemet pludselig udsætter atmosfæren, vil måleren blive brændt.

• Fejlen ved deflation af glaspæren og elektroden fører til målefejlen.

Kalibrering af ioniseringsvakuummåler bør være opmærksom på følgende seks punkter:

1. Når måleren er tilsluttet systemet, forbindes den uforseglede måle og målekredsløbene sammen for at kontrollere om måleren er normal og derefter modtager systemet.

2. Ved kalibreringsprocessen, hvis der er en fejl og uidentificeret, skal du tage en uåbnet målestok og dømme om det er et måleproblem eller et kredsløbsproblem. Hvis det er normalt at udskifte den uåbnede måler, der angiver, at den originale måler er i problemer; hvis den uåbnede måler stadig er unormal, hvilket indikerer problemet med kredsløbet og således begrænser fejlets omfang.

3. Måleinstallationen skal installeres lodret. Under opvarmning og afgassning og bagning vil gitteret og katoden deformere, og den relative position ændres, hvilket vil påvirke målingsnøjagtigheden alvorligt.

4. Før du åbner filamentet, kan det vurderes, om vakuumet i vakuumsystemet er mindre end 10 ^-1 pa, og åbn derefter filamentet. Hvis vakuumgraden er for lav, vil dette medføre, at katoden af måleren oxideres og brændes.

5. Før læsning skal emissionsstrøm, nulpunkt og fuld grad justeres først. De specifikke trin er: emissionsstrøm - nulpunkt - fuld skala - emissionsstrøm.

6. Det ioniserende vakuummåler kan kalibreres med kun 10 minutters forvarmning.