Substantivforklaringen om vakuum
Oct 31, 2018| Substantivforklaringen om vakuum
IKS PVD iks.pvd@foxmail.com
1. Definition af vakuum
Et vakuumsystem er et tyndt volumen gas under atmosfærisk tryk i området.
2. Vakuumgrad
Graden af tynhed i et vakuum er normalt udtrykt som "højvakuum" og "lavt vakuum". Et højt vakuum betyder godt, og et lavt vakuum betyder dårlig.
3. Vakuum enhed
Normalt bruges Torr som enhed, og Pa anvendes internationalt i de seneste år.
1 holder = 1/760 atmosfære = 1 millimeter kviksølv
4. Overfør mellem Tod og pa
1 paller = 133.322 paller eller 1 paller = 7,5 gange 10-3 paller
5. Gennemsnitlig fri vej
Den gennemsnitlige afstand, der passeres af to på hinanden følgende kollisioner af gaspartikler i uregelmæssig termisk bevægelse, betegnes ved symbolet "afgang".
6. flow
Mængden af gas, der strømmer gennem en hvilken som helst sektion i enheds tid, udtrykt som "Q", i enheder af Pa · L / s (Pa · L / s) eller Torr · L / s (Torr · L / s).
7. Flow guide
Det er evnen af en vakuumrørledning at passere gennem en gas. Enheden er liter per sekund (L / s), og i en stabil tilstand er rørstrømmen lig med rørstrømmen divideret med trykforskellen mellem rørets to ender. Symbolet hedder U.
U = Q / (P2, P1)
8. Tryk eller tryk
Kraften påført af et gasmolekyle pr. Enhedsareal af beholderens væg er udtrykt som P.
9. Standard atmosfærisk tryk
Tryk på 101325 dain per kvadratcentimeter, symbol: (Atm).
10. Ultimat vakuum
Efter at vakuumbeholderen er fuldt pumpet stabiliseres den ved en vis vakuumgrad, som kaldes det ultimative vakuum. Normalt skal vakuumbeholderen gennemgå luftraffinering i 12 timer og derefter vakuum i 12 timer. Den endelige time måles hvert 10. minut. Den gennemsnitlige værdi på 10 gange er taget som grænsevaksugeværdien.
11. Pumpesats
Ved et bestemt tryk og temperatur kaldes pumpen fra pumpens indløb i enheden tid pumpens hastighed eller pumpens hastighed. Sp = Q / (p-p0).
12. Termoelement vakuummåler
En vakuummåler bruges til at måle vakuumgraden ved at anvende termoelementets elektriske potentiale i forhold til varmeelementets temperatur og elementets temperatur i forhold til gasens varmeledning.
13. Ionisering vakuummåler (hot cathode ionization gauge)
Den består af en rørformet opsamlingspæl, et gitter og en filament placeret i midten af gitteret. Den rørformede opsamlingspol er uden for gitteret. Elektroniske ioniserede gasmolekyler med varm katodeemission, opsamles af opsamleren ifølge den samlede ionstrømstørrelse til måling af vakuummålerens gastryk.
14. Komposit vakuummåler
Bestående af en termoelement vakuummåler og en hot-katode ioniserings vakuummåler, måleområdet er ~ 10-5pa.
15. Kold katode ioniseringsmåler
Der er et par katodeplader i begge ender af anodrøret. Under påvirkning af det eksterne magnetfelt bliver panninafladning dannet inde i anodrøret for at fremstille ioner, og vakuummåleren for gastryk bestemmes i overensstemmelse med størrelsen af ion strømmen indsamlet af katodepladen.
16. Modstand vakuummåler
En vakuummåler, der måler vakuumgraden ved hjælp af et brokredsløb, ved anvendelse af princippet om, at modstanden af varmeelementet er relateret til temperatur og elementets temperatur er relateret til gasledning.
17. McLeod vakuummåler (komprimeret vakuummåler)
Gassen, der skal måles, komprimeres til et meget lille volumen med kviksølv (eller olie) og derefter sammenlignes med den flydende søjleforskel mellem åbent og lukket rør.
18 og B - En måler
Dette er en varm katode ioniseringsmåler med en kollektor inversion. Opsamlingselektroden er en filament, der er placeret i midten af gitteret, og filamentet er anbragt uden for gitteret, hvilket reducerer virkningen af blød røntgen.
19. Vandring vakuumpumpe
Pumpehjulet roterer for at producere en vandring. Det er en mekanisk vakuumpumpe, pumperluft på grund af den periodiske ændring af volumenet mellem vandringen og bladet på grund af rotorekscentricitetsrotation.
20. Gensidig vakuumpumpe
Det er en mekanisk vakuumpumpe, der trækker luft ved stemplets fremadgående bevægelse.
21. Olieforsegling mekanisk vakuumpumpe
Mekanisk vakuumpumpe med olie for at holde forseglingen kan opdeles i fast type, roterende type, glidende ventil type, trochoidal type og så videre.
22. Roots vakuumpumpe
Mekanisk vakuumpumpe med et par synkrone rotorer med høj hastighed roterende sko, denne pumpe kan ikke pumpes separat, olietætning, vandring og andre vakuumpumper kan direkte udstødte atmosfæren.
23. Turbo-molekylær vakuumpumpe
Der er en højhastighed roterende pumpehjul. Når gasmolekylerne kolliderer med det roterende turbineblad med høj hastighed, køres de til udløbet og fjernes derefter af forpumpen.
24. Oliediffusion vakuumpumpe
En højhastig dampstrøm sprøjtes ud fra diffusionspumpens dyse. Under molekylestrømmens tilstand diffunderes gasmolekylerne kontinuerligt i dampstrømmen og komprimeres af dampbæltet til pumpens udløb trin for trin og udelukkes derefter af den tidligere pumpe.
25. Lavtemperatur vakuumpumpe
Vakuumpumpen anvendte kondensering af adsorptionsgassen på den lave temperaturoverflade under 20K.
26. Koldfælde (vandbaffel)
En anordning anbragt mellem en vakuumbeholder og en pumpe til at absorbere gas eller optage oliedamp.
27. Luftballastventil
Mekanisk olietætning vakuumpumpe på kompressionskammeret for at åbne et lille hul og sætte på regulatoren og justere lydstyrken, når ventilen åbnes, rotoren til et bestemt sted passerede dette hul med trykluftkammer for at reducere kompressionsforholdet, så For at få mest muligt ud af dampen kondenseres fra den låste ud af pumpen med blandet gas i ventilens rolle kaldes gasballastventilen.
28. Vakuumfrysningstørring
Vakuumfrysningstørring, også kendt som sublimeringstørring. Tanken er at fryse materialet, så det vand, det indeholder, bliver til is, så sublimere isen i et vakuum for at tørre ud.
29. Vakuuminddampning
I et vakuummiljø kaldes opvarmning og belægning af materialet på substratet vakuuminddampning eller vakuumcoating.
30. Vakuumtørring
Det er en metode til at tørre artikler ved at bruge det lave kogepunkt i et vakuummiljø.
31. Fælles navn til vakuumsystem
(1) hovedpumpe: I vakuumsystemet anvendes vakuumpumpen til at opnå den nødvendige vakuumgrad for at opfylde de specifikke proceskrav, såsom oliediffusionspumpen i vakuumbelægningsmaskinen, er hovedpumpen.
(2) forreste pumpe: vakuumpumpen bruges til at opretholde trykket af en vakuumpumpe i forreste fase under dets kritiske forreste fase. En roterende skovl eller glideventilpumpe, som i tilfælde af en rotorpumpe, er en forpump.
(3) ru pumpe: vakuumpumpen, der begynder at pumpe luft under atmosfærisk tryk, og derefter pumper systemtrykket til en anden vakuumpumpe for at starte arbejdet. Såsom vakuumbelægningsmaskine i glideventilpumpen er grov oliepumpe.
(4) Vedligeholdelsespumpe: I vakuumsystemet er luftmængden meget lille, og frontpumpen kan ikke udnyttes effektivt. Til dette formål kaldes en lille kapacitet af hjælpepumpen til at opretholde hovedpumpearbejdet. Denne pumpe kaldes vedligeholdelsespumpe. Hvis der leveres en lille roterende skovlpumpe ved diffusionspumpens udløb, er det vedligeholdelsespumpen.
