Arbejdet princippet om Molekylær pumpe

Den pumpe mekanisme af molekylære pumpe er forskellig fra denmekanisk pumpepumpes af lydstyrke ændring af pumpe hulrum, brug af princippet om momentum overførsel, Molekylær orientering flow er afladet udenfor pumpe, for at opnå formålet med pumpe.

Molekylær vakuumpumpe er brugen af højhastighedstog roterende rotoren til at overføre energi til gas molekyler, således at gøre det komprimering og evakuering. Det har følgende typer:

Trækkraft molekylære pumpe:Gas molekyler og high-speed rotor kollision at få momentum, som er sendt til exit, derfor, det er en momentum overførsel pumpe.

Turbo molekylære pumpe: Pumpen huser en rillet disk eller en bladet rotor, der roterer mellem stator diske (eller statorer). Omkredsen linje hastighed af rotoren er meget høj. Denne form for pumpen virker normalt i tilstand af molekylære flow.

Sammensatte molekylære pumpe:Det er en sammensat molekylære vakuumpumpe, som er serien kombination med en turbo og en trækkraft type.

Den molekylære pumpe roterer ved høj hastighed under kørsel af motoren, og bruger den frekvens konvertering til at drive motoren og formålet er at få en højere hastighed. I området molekylære flow gas molekyler kolliderer med overflade af bladet roterende på en høj hastighed, og momentum er fremsendt til gas molekyler, således at delvise gas molekyler til at generere retningsbestemt flow på stive kroppens overflade, og udvist den pumpe til at opnå formålet med gasudvinding. Normalt med højhastighedstog bevægelse af kroppen stiv kaldes overflade til at transportere gas molekyler og gøre det i en bestemt retning fænomenet med molekylær trækkraft, ved hjælp af dette fænomen, lavet af vakuumpumpe kaldet trækkraft molekylære pumpe.

Fordelen ved trækkraft molekylære pumpe er den korte opstartstid, høje kompressionsforhold i molekylær flow tilstand, og kan fjerne alle former for gasser og dampe, og er især velegnet til at pumpe tungere gasser. Men på grund af den lille pumpe hastighed af trækkraft Molekylær pumpe, små forsegling clearance, ringe pålidelighed, let mekanisk svigt og vanskelige fremstilling, faktisk det bruges sjældent. Senere trækkraft molekylære pumpe blev forbedret, og turbo molekylære pumpe dukkede op.

Der er flere grupper af interphase trækkraft hjul skovle og faste hjul skovle i en turbo molekylære pumpe, og der er mange skovle på hvert hjul, der er på skrå i en bestemt vinkel. Faktiske turbo molekylære pumpe er sammensat af overlappende klinge arrangement i flere faser, i form af rotoren plade, stator plade, rotor plade til efterfulgt af skiftende ordning, den roterende kniv svarer til effekten af elektrisk ventilator blade, og kan pumpe gas fra den ene side til anden siden. Forbedre hastigheden af den molekylære pumpe er gavnligt at forbedre pumpe hastigheden af den molekylære pumpe. På grund af begrænsningen af vingerne rotere hastighed er det vanskeligere at pumpe tomrummet, hvis gas molekylerne bevæge sig hurtigere.

Turbo molekylære pumpe er også en mekanisk vakuumpumpe, som pumpes gennem kombinationen af højhastighedstog roterende flertrins turbine rotorblade og stationære vinger. Det giver en høj komprimeringsgrad for den udpakkede gas i området molekylære flow for at opnå den ønskede vakuum ydeevne. Den ultimative vakuum af turbo molekylære pumpe er højere end diffusionspumpe, op til 10-8 pa. Normale arbejde kræver en vis grad af pre vakuum. Dens vakuum niveau varierer lidt afhængigt af pumpen. Det er normalt mellem 1-200pa, og mekanisk pumpe kan bruges som en front trins pumpe. På grund af den høje hastighed turbo molekylære pumpe, normalt drives af hvis motor og hvis magt levering frekvens mellem 300-400 HZ.

Vandkøling er generelt bruges i deTurbo molekylære pumpe.

Densammensatte molekylære pumpeer en serie kombination af turbo molekylære pumpe og trækkraft molekylære pumpe. Det integrerer fordelene ved de to pumper, og har en stor pumpning hastighed og et højt kompressionsforhold inden for et bredt pres 10^-6~ 1pa, som i høj grad forbedrer afgangstryk af pumpen.