Analyse af Power-Carrying Capability af Magnetron Sputtering Mål

  1. Målområde og belastningsområde

(1) Effektdensiteten af det cirkulære plane magnetronmål er generelt 1 ~ 25w / cm2

(2) Effektdensiteten af det rektangulære plane magnetronmål er 1 ~ 36w / cm2

(3) Effektdensiteten af kolonne magnetron mål og konisk plan magnetron mål (S pistol) er generelt 40 ~ 50w / cm ² .

2. Faktisk bæreevne af magnetronmål

Ud over sputteringsteknologien og filmkvalitetskravene er magnetronmålets faktiske bæreevne også nært forbundet med køleforholdene og varmeafgivelsesbetingelserne for målet.

Magnetronmål kan opdeles i to typer "direkte vandkølemål" og "indirekte vandkølemål" baseret på kølemetoden.

I betragtning af målets aldring efter langvarig brug gør dens varmeafgivelsesbetingelser dårlige og under hensyntagen til forskellige varmeoverførselskoefficienter af forskellige målmaterialer, er magnetronmålets ultimative belastningskraft og den faktiske maksimale effekt af direkte vandkølemål kan indstilles let mindre end den øvre grænse for effektdensitetsområdet. Og den faktiske maksimale belastning af det indirekte vandkølemål kan indstilles omkring halvdelen af den øvre grænse for effektdensitetsområdet.

Når magnetronmål (hovedsageligt Cu, Ag, Brass og Al bronze) "selvsputtering", bruger den typisk et magnetronsputteringmål, der er specielt designet til at "direkte vandkøle". Den ultimative bæreevne til brug skal være større end den øvre grænse for målkraftsdensitetsområdet.