Vedligeholdelse Trin af Vacuum Coating Machine

Først og fremmest skal det sikres, at belægningsmaskinen er i fuld kontakt med jorden. Diffusionspumpen og olieforstærkerpumpen skal tilsluttes kølevandet inden opvarmning og tænd holdepumpen. Hertil kommer, at holdepumpen skal opretholdes i en halv time efter, at diffusionspumpe og boosterpumpe holder op med at fungere. Vandet skal afskæres efter en time. Men hvis pumpen ikke afkøles til under 80 ° C, må kølevandet ikke afbrydes for at forhindre, at pumpekernen brændes.

Både diffusionspumpe og boosterpumpe har standby-vandudtag. Hvis belægningsmaskinen eller strømmen fejler, skal standbyudgangen bruges til at afkøle diffusionspumpen og boosterpumpen. Før belægningen skal alt udstyr være forbundet med kølevandssystem for at forhindre elektroder og substrat i at blive brændt. Diffusionspumpe og olieforstærkerpumpe må ikke komme i kontakt med atmosfæren under opvarmning for at undgå oxidation af pumpens olie. Kontroller og juster vandstrømningsrelæet regelmæssigt for at se om vandafbrydningsalarmen er normal, og sørg for, at udstyrets kølevandsforsyning ikke er blokeret. Når du demonterer og monterer belægningsmaskindele, skal du være forsigtig med at beskytte tætningsarbejdsfladerne fra mekaniske ridser eller beskadigelser for at sikre pålidningsmaskinens pålidelige forseglingsevne.

De vakuumforseglede dele af transmissionsakslen er alle forseglet i form af "rammeolieforseglinger." Rammeolietætningerne er fyldt med vakuumfedt og diffusionspumpeolie med meget lavt mættet oliedamptryk. Det vil slides ud i et stykke tid og skal fyldes med samme vakuumfedt og diffusionspumpeolie. Bemærk venligst, at du aldrig bruger andre olier i stedet.