Effekt af PVD-belægningsfremstillingsproces på belægningstykkelse

Det vigtigste i PVD-belægningsprocessen er klemmetoden, som bestemmer tykkelsen og ensartetheden af belægningen. Og der er ingen tvivl om, at belægningens tykkelse påvirker dets levetid. Imidlertid er det ikke jo tykkere belægningen, desto bedre er dens levetid. På samme emne kræver forskellige applikationer forskellig tykkelse. Og forskellige emner har også forskellige tykkelser. Så tykkelsen af belægningen er vigtig.

Belægningens tykkelse bestemmes hovedsageligt ved coatingproceduren. Visse procedurer har et vist område af belægningstykkelse, og belægningens tykkelse varierer væsentligt inden for dette område. Arbejdstykkets fastspændingsmetode påvirker dog også tykkelsen af belægningen. Under ukorrekt fastspænding vil belægningens tykkelse overstige det område, der er indstillet af programmet.

Rotationsdimensionen af emnet påvirker belægningens tykkelse. Arbejdsstykkerne skal drejes i kammeret, mens de er belagt. Der er tre måder at dreje på emnet: enkeltdimensionering, todimensionel rotation og tredimensionel rotation. Til samme belægningsprocedure, jo mere rotationsdimensioner, den tyndere belægning. Tykkelsen af den todimensionelle spinbelægning er ca. 5 gange tykkelsen af den tredimensionelle spinbelægning, og tykkelsen af den endimensionelle spinbelægning er ca. 1,5 gange tykkelsen af den todimensionelle spincoating. Under antagelse af en overtræks tykkelse af en tredimensionel rotering er 2um, og så er overtrækket tykkelsen af det todimensionelle roterende emne omkring 3um, medens overtrækket tykkelsen af det enkeltdimensionelle roterende spin kan nå 4,5um eller mere.

Når arbejdsstykket fastspændes, påvirker emnernes tæthed også tykkelsen af belægningen. Overtrækets tykkelse af emnet, hvor det er fastspændt, er lille, og arbejdstykkets belægningstykkelse, hvor spændingen er spændt, er stor.

Figuren ovenfor viser tykkelsesfordelingen af belægningen på en enkelt tand på en kogeplade. Figuren nedenfor viser tykkelsesfordelingen af belægningen i forskellige positioner af en boremaskine.

Det kan således ses, at tykkelsen af forskellige dele af værktøjet er stærkt påvirket af klemmen, så vi skal bestemme klemmetoden baseret på erfaring.