Sager har brug for opmærksomhed ved valg af PVD-belægningsmål

Når man vælger mål, bortset fra anvendelsen af belægningerne, bør følgende spørgsmål også overvejes:

◆ Belægningen, der aflejres af mål, skal have god mekanisk styrke og kemisk stabilitet

◆ Belægningen, der aflejres af mål, skal have god bindende kraft med substratet. I modsat fald bør belægningsmaterialerne med en god bindende kraft til substratet anvendes og først sputtere og deponere en kældermembran og derefter forberede de ønskede belægninger.

◆ Da belægningen er dannet ved reaktiv forstøvning, skal belægningsmaterialerne være lette at reagere med en gas og danne sammensatte film.

◆ Under forudsætning af at opfylde kravene til belægningsydelse, jo mindre er forskellen på termisk ekspansionskoefficient mellem mål og substrat, jo bedre, for at reducere indflydelsen af termisk stress.

◆ Målet skal opfylde de tekniske krav til renhed, urenhedsindhold, komponentuniformitet, maskinens nøjagtighed og så videre.