Ultrahøj vakuum enhedskarakter og klassificere

Ultrahøj vakuum enheder, der opererer over 10-5pa, omfatter diffusionspumpe, ultrahøj vakuumenhed med molekylpumpe og oliefri ultrahøj vakuumenhed. Enheden har følgende egenskaber:

Maksimal vakuumgraden for hovedpumpen er højere end 10-7 ~ 10-8pa.

(2) kan udholde den høje temperatur på 200 ~ 450 ° bage;

Det primære pumpes partialtryk er ret lavt.

For hovedpumpen med høj selektivitet skal den være forsynet med en tilstrækkelig stor hjælpepumpe.

(1) diffusionspumpe med ultrahøj vakuum

Det ultimative støv af ultrahøjsugningsenheder med diffusionspumper som hovedpumper er 10-7 ~ 10-8pa.

For at reducere indflydelsen af omvendt diffusion af gas fra diffusionspumpens forreste fase og omvendt diffusion af mekanisk pumpolie på den ultimative vakuumgrad kan en diffusionspumpe med en lavere pumpehastighed anvendes i den forreste fase af diffusionspumpen for at reducere kompressionsforholdet og omvendt diffusion. Hvis en titan-sublimeringsfælde tilsættes til diffusionspumpeens indløb, kan nitrogenpartialtrykket fra diffusionspumpen reduceres yderligere, og der kan opnås et superhøjt vakuum på 10-11pa.

(2) ultrahøj vakuum enhed af molekylær pumpe

Det maksimale vakuum af ultrahøjvakuumaggregater, der primært bruger molekylære pumper, er 10-8pa, som er kendetegnet ved hurtigstart og lav olieforurening.

Pumpehastigheden kan øges ved at tilsætte flydende kvælstofkoldfælde i enheden. Udgangen af den mekaniske pumpe er forsynet med en vandkold fælde for at forhindre, at oliedamp kommer ind i systemet.

(3) oliefri ultrahøj vakuum enhed

Vakuumenheden, der ikke bruger olie til at gøre arbejdsvæske og ikke forsegler med organisk materiale, kaldes superhøj vakuumenhed uden olie. De almindeligt anvendte hovedpumper omfatter kryogenpumpe, titanpumpe, sputtering-ionpumpe osv. Sammenlignet med oliefasken har den følgende fordele:

Rent vakuum og ingen forureningskilde kan opnås.

Når oliefri vakuumpumpen startes, kan præpumpen isoleres.

Hvis ventilationen stopper pludselig, vil systemet ikke blive forurenet;

Det har ingen olie, ingen støj og ingen vibrationer, hvilket forbedrer arbejdsmiljøet.

Den terminale vakuumgrad er høj, pumpens hastighed er høj, og pumpetiden er kort.