Elektronisk stråleafdampningsudstyr
EB PVD optisk belægningsmaskine, applikationer: Briller, reflekterende spejl, mobiltelefon backboard, beskyttelsesdæksel, optisk kommunikation, optisk display osv.
- Produkt introduktion
IKS-OPT2700 Electron Beam Fordampning Optisk Coating Machine
l Applikationer:
Briller, reflekterende spejl, mobiltelefon backboard, beskyttelsesdæksel, optisk kommunikation, optisk skærm mv
l Udstyrs Brief
IKS-OPT2700 er designet til optisk filmbelægning med stort areal. Det er elektronstråle-fordampningsbelægningsmaskine. Belægningsmaskinsystemet består af vakuumkammer, vakuumpumpe, vakuumdetektering og -styring, substratvarmesystem, elektronstrålefordampningsystem, ionkildeassisteret aflejringssystem, modstandsinddampningssystem, filmtykkelsesovervågningssystem, arbejdsgasvolumenstrømstyringssystem, arbejde stykke rotationssystem og automatisk belægning styret af PLC.
Fordampningsmaterialet anvendes almindeligvis af sjældne metaller, såsom yttriumfluorid, praseodymiumfluorid, germanium, zinksulfid, magnesiumfluorid, titandioxid, siliciumdioxid, zirconiumoxid, kobolt, gallium, selen og andre metaller. Kobber, molybdæn, silicium, germanium og andre metaller anvendes almindeligvis i de optiske materialer af reflektorer.
Det kan være belægning synlig lysfarvefilm, aluminiumreflekterende film, AF anti-fingerprintfilm, lavt smeltepunkt organisk film, synlig lysspektroskopisk film, synlig lysreflektionsfilm mv.
l Udstyr Funktioner
IKS-OPT2700 optisk filmbelægningssystem med stor optisk område, ved hjælp af genoptimering af vakuumkammerkonstruktion, innovativt kryogen pumpeplanlægning, stabilt arbejdsstykke roterende steldesign, avanceret elektronstrålefordampningsanlæg, justerbar ensartethedsjusteringsanordning og den humaniserede automatiske belægningsprocesstyring for at opnå et stabilt vakuumprocesmiljø, opnået den bedste belægningsproces, har højkvalitetsbelagte produkter.
1. Kammerstørrelse; Ф2700 × H1670 | 8. gulvplads: L6 × W5.5 × H3.5m |
2. Vakuumgrad: ultimat vakuum: 6 × 10 -4 Pa ( Ingen belastning i 24 timer uden opvarmning ) | 9.Vægt: 8000 kg, Gulvvægt > 1000 kg / m2 |
3. Lækagehastighed: 4 × 10 -3 Pa × L / S (Helium lækage kontrol) | 10. Temperatur : Ved stuetemperatur til 250 ° C , temperaturen ensartethed ± 5% |
4. Arbejdsvakuum: 6 × 10 -3 Pa ( Automatisk procesopstart ) | 11.Power Supply: Tre-fase, 380V , 50Hz , 60-100KW |
12. Varmekøling: Kammerstrøm > 4000L / H , pumpestrøm > 1800L / H, kølekompressor > 1600L / H | |
6. Højvakuum: 6 minutter 8 × 10 -3 Pa | 13.Varmt vand: Fordampning Source1800L / H, 35-60 ℃ |
7. Vakuummåling: Hele procesovervågning og realtidsindsamling |
l Tekniske parametre
Overvågning af filmtykkelse
| 1.PLC integreret kontrol 2. Finfilmafsættelse, 0,01nm / s 3. Hurtig moden svarende, kobling med elektronkanon |
Flow Control | Kontrolområde: 3 ~ 100sccm , 5-500sccm, Præcis kobling med ionkilde, synkron styring, flowstyring, Stabil output, stabil ionenergi er stabil |
E-strålekilde | Type: 10KW, 270 graders nedbøjning. Ripple mindre end 0,5%, præcis kontrolpunkt form og størrelse, System kontrol drift stabilitet og høj nøjagtighed. Gun type: wolfram filament, holdbar type |
Modstandsdamp for fordampning | Type: Tungsten båd fordampes ved opvarmning. Antal: To sæt elektroder, vælg installation. Velegnet til speciel belægningsproces, sigter mod funktionsmaterialerne eller metalmaterialerne for at opnå fordampningens funktion |
Ion kilde | Type: 4KW Hall ion kilde, fjernlys, bred vinkel af divergens, aftagelig anode, vedligeholdelse og rengøring er meget enkel |
Kontrolsystem | PC-interface: 17inches, 1set. TP touch screen: 15 omcjes.1set. Hovedsystem: IKS Automatisk programmerbar logikstyring. Automatisk processtyringssystem udviklet af IKS PVD, Det er et intelligent operativsystem til registrering i realtid af processer og feedback af fejl. Perfekt integration, humaniseret design og imødekommelse af de personlige behov for at give et sikkert og intelligent design af operationssystemet, nøjagtigt kontrol af driften. |
Sikker design | Hovedafbryderbeskyttelse, jordbeskyttelse, unormal alarmkomponent, systemdrift i realtid overvågningsbeskyttelse |
l Produkt overlegenhed
Teknologisk innovation
1. Rimelig integration af produkter og teknologiske innovationsresultater, forbedring af procesmiljøet, for at opnå en stabil drift af belægningssystemet!
2. Produkt struktur design innovation er rimelig, fast, kortfattet, vedligeholdelse er praktisk! (bruger holdning design!)
3. Drift og operativsystem innovation udvikling, enkel betjening, effektiv og praktisk!
4. Produkter og proces teknologi til opnåelse af høj kvalitet belægning proces, forbedre effektivitet, ensartethed, fremragende repeterbarhed!
5. Opnå intelligent styring af coating system drift!
6. Sikkerheds system optimering, fejlprompt, detaljeret løsning løsning!
7. Effektivisering, produktions- og ledelsesomkostningsreduktion!
Teknologisk funktion
1. Produktdesign, ved perfekt IKS teknologi og produktudvikling sømløs docking integration, for at skabe pålidelige, stabile
Fast, sikkert, intelligent belægningssystem!
2. Vacuum erhvervelse, re-optimeret design af vakuum erhvervelse system, for at opfylde det hurtige og stabile vakuum miljø!
3. Fordampningskilde og ionkilde, rimelig layout og højkvalitets behandlingsteknologi, idriftsættelse teknologi, for at opnå processen
Process automatisk justering, elektronstråle nyskabende struktur og præcis sats garanti materiale deposition mere præcis og stabil!
4. Automatisk drift kontrol system, den nye udvikling af præcise og stabile system! Enkel installation, nem betjening!
Coated produkt
Populære tags: elektron stråle fordampning belægning udstyr, Kina, producenter, leverandører, køb, tilpasset, lavet i Kina
